| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·微机电系统及其摩擦学问题 | 第10-12页 |
| ·微机电系统概述 | 第10-11页 |
| ·微机电系统摩擦学问题 | 第11-12页 |
| ·纳动和径向纳动 | 第12-22页 |
| ·纳动 | 第12-14页 |
| ·径向纳动 | 第14-15页 |
| ·微机电系统纳动损伤问题 | 第15-16页 |
| ·单晶硅和镍钛合金的径向纳动研究 | 第16-22页 |
| ·本论文研究意义及内容 | 第22-24页 |
| ·论文研究意义 | 第22页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 实验方法和材料 | 第24-36页 |
| ·实验装置 | 第24-26页 |
| ·材料选择、实验参数及分析方法 | 第26-29页 |
| ·材料选择 | 第26-29页 |
| ·实验参数 | 第29页 |
| ·分析方法 | 第29-36页 |
| ·理论分析方法 | 第29-35页 |
| ·表面形貌分析 | 第35-36页 |
| 第3章 高载下多晶铜和单晶硅的径向纳动运行行为与损伤机理研究 | 第36-44页 |
| ·径向纳动的运行行为研究 | 第36-39页 |
| ·损伤机理研究 | 第39-42页 |
| ·损伤形貌分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 高载下镍钛合金径向纳动运行和损伤机理研究 | 第44-57页 |
| ·实验样品的机械性能 | 第44页 |
| ·径向纳动的实验结果 | 第44-55页 |
| ·径向纳动载荷-位移曲线 | 第45-48页 |
| ·径向纳动的接触刚度和弹性模量 | 第48页 |
| ·损伤机理研究 | 第48-54页 |
| ·径向纳动损伤形貌研究 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 低载下镍钛合金径向纳动运行和损伤机理研究 | 第57-71页 |
| ·径向纳动的实验结果 | 第57-64页 |
| ·径向纳动载荷-位移曲线 | 第57-60页 |
| ·径向纳动的接触刚度 | 第60-61页 |
| ·径向纳动过程中的能量耗散 | 第61-62页 |
| ·径向纳动损伤形貌 | 第62-64页 |
| ·径向纳动结果分析与讨论 | 第64-69页 |
| ·球形压头的接触模型 | 第64-66页 |
| ·径向纳动应力-应变分析 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第80页 |