镱膜高压力传感器结构设计及特征研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-23页
·超高压力的应用及超高压力传感器	第8-11页
·超高压力的应用	第8-9页
·超高压力传感器	第9-11页
·镱传感器的研究现状	第11-15页
·箔式传感器	第12-13页
·薄膜式传感器	第13-15页
·影响传感器灵敏度的因素	第15-23页
·镱的压阻特性	第15-18页
·影响压阻系数的因素	第18-23页
第二章 镱薄膜传感器结构设计	第23-36页
·主要性能指标	第23-24页
·设计原理	第24-36页
·镱的压阻效应	第24页
·轻气炮测试原理	第24-26页
·镱薄膜压力传感器的结构设计	第26-27页
·敏感栅结构设计及仿真	第27-32页
·轻气炮实验设计	第32-36页
第三章 镱薄膜传感器的制备	第36-46页
·工艺流程	第36页
·镱薄膜的溅射制备技术	第36-43页
·高纯度镱膜的制备技术	第36-39页
·镱薄膜的优化制备工艺	第39-43页
·镱薄膜的光刻技术	第43-45页
·镱膜传感器的封装	第45-46页
第四章 镱膜传感器的高压测试	第46-56页
·霍普金森杆测试	第46-48页
·一级轻气炮测试	第48-56页
·电桥测试电路	第48-50页
·恒流源测试电路	第50-52页
·改进的恒流源测试电路	第52-56页
第五章 结论	第56-57页
致谢	第57-58页
参考文献	第58-62页
附录	第62-69页