CO2激光抑制熔石英损伤增长研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·课题背景 | 第10-13页 |
| ·C0_2激光修复熔石英元件研究进展 | 第13-22页 |
| ·C0_2激光修复熔石英元件机理 | 第13-16页 |
| ·熔石英损伤增长机制 | 第13-15页 |
| ·C0_2激光修复熔石英损伤物理过程 | 第15-16页 |
| ·C0_2激光修复熔石英损伤的实验装置 | 第16-17页 |
| ·C0_2激光修复熔石英损伤点实验进展 | 第17-19页 |
| ·10 μm 以下团簇损伤点的修复 | 第17-18页 |
| ·10-50 μm损伤点团簇的修复 | 第18页 |
| ·100 μm到500 μm以下损伤点的修复 | 第18-19页 |
| ·C0_2激光修复熔石英理论进展 | 第19-22页 |
| ·论文研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 熔石英材料特性及激光与材料的相互作用 | 第24-37页 |
| ·熔石英特性 | 第24-28页 |
| ·熔石英的结构特性 | 第24-26页 |
| ·熔石英的物理化学特性 | 第26-28页 |
| ·激光与材料的相互作用 | 第28-34页 |
| ·激光辐照的吸收 | 第28-30页 |
| ·热效应 | 第30-34页 |
| ·加热 | 第30-32页 |
| ·熔化 | 第32-33页 |
| ·汽化 | 第33-34页 |
| ·C0_2激光加热熔石英的温度模型 | 第34-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 第三章 C0_2激光修复熔石英损伤点方法的探讨 | 第37-51页 |
| ·标刻机振镜扫描修复 | 第37-42页 |
| ·实验方法 | 第37-40页 |
| ·结果与讨论 | 第40-42页 |
| ·大光斑修复 | 第42-50页 |
| ·实验方法 | 第42-44页 |
| ·结果与讨论 | 第44-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 C0_2激光修复熔石英规律的研究 | 第51-61页 |
| ·实验方法 | 第51-52页 |
| ·结果与讨论 | 第52-60页 |
| ·C0_2激光辐照区域的定义 | 第52-54页 |
| ·变形区和激光参数的关系 | 第54-56页 |
| ·修复点和参数测试点之间的联系 | 第56-57页 |
| ·残余应力与激光影响区的联系 | 第57-58页 |
| ·C0_2激光辐照过程中的残余应力形成模型 | 第57-58页 |
| ·残余应力与双折射效应 | 第58页 |
| ·变形区、影响区及基底的抗损伤能力测试 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-64页 |
| ·总结 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第69-70页 |
