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Fe掺杂ZnO薄膜的制备及其激光感生电压效应

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第一章 绪论第8-22页
   ·ZnO的晶体结构与基本物理性质第9-10页
     ·ZnO的晶体结构第9-10页
     ·ZnO的基本物理性质第10页
   ·Fe掺杂ZnO薄膜的研究现状第10-11页
   ·ZnO薄膜的热电性质第11-15页
     ·热电材料的热电效应第12-14页
       ·Seebeck效应第12-13页
       ·Peltier效应第13页
       ·Thomson效应第13-14页
     ·热电材料性能的衡量及其应用第14-15页
   ·ZnO薄膜的脉冲激光沉积法第15-17页
   ·ZnO薄膜的应用第17-19页
   ·论文研究意义及创新点第19-22页
第二章 Zn_(1-x)Fex_O多晶及薄膜的制备与表征第22-34页
   ·实验设备及方法第22页
   ·Zn_(1-x)Fex_O多晶靶材的制备及其晶体结构的分析第22-25页
     ·Zn_(1-x)Fex_O多晶靶材的制备第22-23页
     ·结果与分析第23-25页
   ·Zn_(1-x)Fex_O薄膜的制备及其晶体结构的分析第25-32页
     ·Zn_(1-x)Fex_O薄膜的制备第25-26页
     ·结果与分析第26-32页
       ·掺杂浓度对薄膜结构性质的影响第26-28页
       ·衬底温度对薄膜结构性质的影响第28-30页
       ·沉积氧压对薄膜结构性质的影响第30-31页
       ·退火氧压对薄膜结构性质的影响第31-32页
   ·本章小结第32-34页
第三章 Zn_(1-x)Fex_O电学性能的研究第34-44页
   ·测量装置及原理第34-35页
   ·结果与分析第35-42页
     ·Zn_(1-x)Fex_O多晶靶材电学性能的影响第35-36页
     ·Zn_(1-x)Fex_O薄膜电学性能的研究第36-42页
       ·沉积氧压对薄膜电学性能的影响第36-38页
       ·退火氧压对薄膜电学性能的影响第38-40页
       ·衬底温度对薄膜电学性能的影响第40-42页
   ·本章小结第42-44页
第四章 Zn_(1-x)Fex_O激光感生电压(LIV)效应第44-60页
   ·激光感生电压(LIV)效应的发展史第44-46页
   ·激光感生电压(LIV)效应的测量装置及原理第46-51页
     ·激光感生电压(LIV)效应的测量装置第46-47页
     ·激光感生电压(LIV)效应原理第47-51页
   ·激光感生电压(LIV)的应用第51-52页
   ·结果与分析第52-59页
     ·掺杂浓度对激光感生电压(LIV)效应的影响第53-55页
     ·沉积时间对激光感生电压(LIV)效应的影响第55-56页
     ·退火氧压对激光感生电压(LIV)效应的影响第56-59页
   ·本章小结第59-60页
第五章 结论第60-62页
致谢第62-64页
参考文献第64-69页
附录: 攻读硕士期间取得的研究成果第69页

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