摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-8页 |
第一章 绪论 | 第8-22页 |
·ZnO的晶体结构与基本物理性质 | 第9-10页 |
·ZnO的晶体结构 | 第9-10页 |
·ZnO的基本物理性质 | 第10页 |
·Fe掺杂ZnO薄膜的研究现状 | 第10-11页 |
·ZnO薄膜的热电性质 | 第11-15页 |
·热电材料的热电效应 | 第12-14页 |
·Seebeck效应 | 第12-13页 |
·Peltier效应 | 第13页 |
·Thomson效应 | 第13-14页 |
·热电材料性能的衡量及其应用 | 第14-15页 |
·ZnO薄膜的脉冲激光沉积法 | 第15-17页 |
·ZnO薄膜的应用 | 第17-19页 |
·论文研究意义及创新点 | 第19-22页 |
第二章 Zn_(1-x)Fex_O多晶及薄膜的制备与表征 | 第22-34页 |
·实验设备及方法 | 第22页 |
·Zn_(1-x)Fex_O多晶靶材的制备及其晶体结构的分析 | 第22-25页 |
·Zn_(1-x)Fex_O多晶靶材的制备 | 第22-23页 |
·结果与分析 | 第23-25页 |
·Zn_(1-x)Fex_O薄膜的制备及其晶体结构的分析 | 第25-32页 |
·Zn_(1-x)Fex_O薄膜的制备 | 第25-26页 |
·结果与分析 | 第26-32页 |
·掺杂浓度对薄膜结构性质的影响 | 第26-28页 |
·衬底温度对薄膜结构性质的影响 | 第28-30页 |
·沉积氧压对薄膜结构性质的影响 | 第30-31页 |
·退火氧压对薄膜结构性质的影响 | 第31-32页 |
·本章小结 | 第32-34页 |
第三章 Zn_(1-x)Fex_O电学性能的研究 | 第34-44页 |
·测量装置及原理 | 第34-35页 |
·结果与分析 | 第35-42页 |
·Zn_(1-x)Fex_O多晶靶材电学性能的影响 | 第35-36页 |
·Zn_(1-x)Fex_O薄膜电学性能的研究 | 第36-42页 |
·沉积氧压对薄膜电学性能的影响 | 第36-38页 |
·退火氧压对薄膜电学性能的影响 | 第38-40页 |
·衬底温度对薄膜电学性能的影响 | 第40-42页 |
·本章小结 | 第42-44页 |
第四章 Zn_(1-x)Fex_O激光感生电压(LIV)效应 | 第44-60页 |
·激光感生电压(LIV)效应的发展史 | 第44-46页 |
·激光感生电压(LIV)效应的测量装置及原理 | 第46-51页 |
·激光感生电压(LIV)效应的测量装置 | 第46-47页 |
·激光感生电压(LIV)效应原理 | 第47-51页 |
·激光感生电压(LIV)的应用 | 第51-52页 |
·结果与分析 | 第52-59页 |
·掺杂浓度对激光感生电压(LIV)效应的影响 | 第53-55页 |
·沉积时间对激光感生电压(LIV)效应的影响 | 第55-56页 |
·退火氧压对激光感生电压(LIV)效应的影响 | 第56-59页 |
·本章小结 | 第59-60页 |
第五章 结论 | 第60-62页 |
致谢 | 第62-64页 |
参考文献 | 第64-69页 |
附录: 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第69页 |