玻璃基硅光波导及纳米波导研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-29页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·主要的光波导材料 | 第9-16页 |
| ·主要的光波导结构 | 第16-18页 |
| ·纳米波导技术及其发展状况 | 第18-23页 |
| ·纳米线光波导 | 第19-22页 |
| ·光子晶体波导 | 第22-23页 |
| ·本文的研究意义 | 第23-24页 |
| ·其余章节内容安排 | 第24-29页 |
| 第二章 玻璃基脊型波导与纳米波导理论 | 第29-37页 |
| ·脊型波导理论 | 第30-34页 |
| ·脊型波导单模条件 | 第30-31页 |
| ·脊型波导有效折射率的计算 | 第31-32页 |
| ·脊型波导与光纤间的耦合损耗 | 第32-34页 |
| ·纳米平板波导理论 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 键合及减薄技术 | 第37-46页 |
| ·常见的键合种类 | 第37-39页 |
| ·阳极键合原理和实现 | 第39-42页 |
| ·阳极键合流程 | 第39-40页 |
| ·阳极键合机理 | 第40-41页 |
| ·SOI和Glass的键合 | 第41-42页 |
| ·自停止腐蚀 | 第42-44页 |
| ·浓硼化学自停止腐蚀 | 第42页 |
| ·电化学自停止腐蚀 | 第42-43页 |
| ·氧化硅自停止腐蚀 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 玻璃基脊型波导和纳米波导的制作与测试 | 第46-59页 |
| ·玻璃体上硅材料的制作 | 第46-49页 |
| ·玻璃基硅光波导的制作 | 第49-52页 |
| ·实验结果与讨论 | 第52-57页 |
| ·表面粗糙特性 | 第52-54页 |
| ·厚度均匀性 | 第54-55页 |
| ·光波导损耗特性 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 具有上下电极结构的MMI型光器件设计 | 第59-71页 |
| ·引言 | 第59-60页 |
| ·MMI工作原理 | 第60-62页 |
| ·离子注入的调制原理 | 第62-63页 |
| ·具有上下电极结构器件的设计 | 第63-69页 |
| ·可调光衰减器的设计 | 第64-66页 |
| ·1×2光开关设计 | 第66-68页 |
| ·2×2光开关设计 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 总结 | 第71-73页 |
| 攻读硕士期间发表论文与申请专利 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
