| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题的来源和意义 | 第8页 |
| ·课题背景 | 第8-10页 |
| ·气敏传感器发展趋势 | 第10-16页 |
| ·本课题的任务 | 第16-17页 |
| 2 乙醇气体敏感薄膜感应原理 | 第17-24页 |
| ·气敏薄膜感应机理 | 第17-19页 |
| ·真空蒸发镀膜工艺 | 第19-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 薄膜制备实验与气敏传感器器件设计 | 第24-36页 |
| ·薄膜制备实验 | 第24-28页 |
| ·传感器结构设计及仿真 | 第28-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 传感器器件制作 | 第36-50页 |
| ·制作工艺 | 第36-42页 |
| ·传感器制作流程 | 第42-44页 |
| ·器件形貌分析 | 第44-46页 |
| ·传感器封装和外围电路 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 全文总结与展望 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文已发表论文 | 第56页 |