| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| ·铁电材料的研究发展 | 第8-10页 |
| ·铁电薄膜的性质与应用 | 第10-14页 |
| ·铁电薄膜制备技术 | 第14-17页 |
| ·PZT 材料结构特征与掺杂改性研究 | 第17-22页 |
| ·本文研究内容 | 第22-23页 |
| 2 PLZT 铁电薄膜的SOL-GEL 法制备 | 第23-30页 |
| ·引言 | 第23-24页 |
| ·实验设备及材料 | 第24-25页 |
| ·实验过程 | 第25-27页 |
| ·PLZT 铁电薄膜的X 射线衍射分析 | 第27-29页 |
| ·PZT 铁电薄膜的扫描电镜分析 | 第29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 3 PLZT 铁电薄膜电学的性能研究 | 第30-43页 |
| ·引言 | 第30-31页 |
| ·PLZT 铁电薄膜的铁电性能 | 第31-38页 |
| ·PLZT 铁电薄膜的介电性能 | 第38-40页 |
| ·PLZT 铁电薄膜的漏电特性 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 4 全文总结 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-49页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第49页 |