| 第一章 绪论 | 第1-11页 |
| §1．1 半导体薄膜特性检测的意义和现状 | 第8-9页 |
| §1．1．1 薄膜应力的检测 | 第8-9页 |
| §1．1．2 薄膜生长率的检测 | 第9页 |
| §1．2 本文的研究工作 | 第9-11页 |
| 第二章 半导体薄膜特性实时检测的相关理论及方法 | 第11-22页 |
| §2．1 多光束偏转测量法 | 第11-12页 |
| §2．1．1 简述 | 第11页 |
| §2．1．2 Stoney方程 | 第11-12页 |
| §2．2 反射光干涉测量法 | 第12-21页 |
| §2．2．1 虚拟界面模型求多层半导体薄膜生长率 | 第13-17页 |
| §2．2．2 单层薄膜干涉理论及生长率等量的求解 | 第17-21页 |
| §2．2．2．1 单层薄膜上的多光束干涉 | 第17-19页 |
| §2．2．2．2 简化的双光束干涉模型 | 第19-21页 |
| §2．3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 检测装置设计 | 第22-52页 |
| §3．1 设计思想及总体构成 | 第22-23页 |
| §3．2 系统技术指标的制定 | 第23-29页 |
| §3．2．1 激光器波长的选择 | 第23-24页 |
| §3．2．2 薄膜厚度检测精度与探测电路A／D分辨率及噪声水平 | 第24-25页 |
| §3．2．3 LD光源的输出功率稳定度 | 第25-26页 |
| §3．2．4 激光器的频谱漂移 | 第26-27页 |
| §3．2．5 LD的输出光功率范围 | 第27-28页 |
| §3．2．6 应力检测灵敏度及误差 | 第28-29页 |
| §3．3 光学分束组件 | 第29-30页 |
| §3．4 功率稳定可调半导体激光器 | 第30-42页 |
| §3．4．1 引言 | 第30-31页 |
| §3．4．2 PID控制理论 | 第31-35页 |
| §3．4．2．1 简介 | 第31-32页 |
| §3．4．2．2 数字PID算法 | 第32-33页 |
| §3．4．2．3 数字PID调节中的实际问题和变速积分PID算法 | 第33-34页 |
| §3．4．2．4 PID参数的整定方法 | 第34-35页 |
| §3．4．3 基于MCS-51单片机的LD自动功率控制系统 | 第35-41页 |
| §3．4．3．1 激光二极管封装及参数 | 第35页 |
| §3．4．3．2 MCS-51单片机控制系统设计 | 第35-41页 |
| §3．4．4 LD温度自动控制电路 | 第41-42页 |
| §3．4．4．1 LD功率与温度的关系 | 第41-42页 |
| §3．4．4．2 工作温度稳定电路设计 | 第42页 |
| §3．5 低噪声、高精度光强数据采集传输模块 | 第42-47页 |
| §3．5．1 光电检测电路的静态设计 | 第43-45页 |
| §3．5．1．1 光电检测器件的选择 | 第43-44页 |
| §3．5．1．2 恒流源型光电器件输入电路的静态计算 | 第44页 |
| §3．5．1．3 检测器件和放大电路的连接 | 第44-45页 |
| §3．5．2 光电检测电路的噪声估计 | 第45-47页 |
| §3．5．2．1 热噪声和散粒噪声 | 第45-46页 |
| §3．5．2．2 1／f噪声 | 第46页 |
| §3．5．2．3 噪声及信噪比计算 | 第46-47页 |
| §3．5．3 数据的采集与传输 | 第47页 |
| §3．6 薄膜特性计算软件 | 第47-51页 |
| §3．6．1 IEEE-STD-1057正弦曲线拟合算法 | 第48-50页 |
| §3．6．1．1 数据模型 | 第48页 |
| §3．6．1．2 IEEE-STD-1057标准算法 | 第48-50页 |
| §3．6．2 非线性最小方差估计 | 第50页 |
| §3．6．3 基于Matlab的计算软件 | 第50-51页 |
| §3．7 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 实验与结论 | 第52-59页 |
| §4．1 LD功率的控制 | 第52-55页 |
| §4．1．1 温度的控制 | 第52-53页 |
| §4．1．2 功率控制及其结果 | 第53-55页 |
| §4．1．3 驱动电路的改善 | 第55页 |
| §4．2 光强检测传输模块的运转 | 第55-56页 |
| §4．3 薄膜特性计算软件的仿真结果 | 第56-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| §5．1 本文的工作总结 | 第59页 |
| §5．2 对研究工作的展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 研究生在读其间研究成果 | 第65-66页 |
| 附录A | 第66-67页 |
| 附录B | 第67-68页 |
| 附录C | 第68页 |
