| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-6页 |
| 第1章 绪论 | 第6-17页 |
| ·微系统工程概述 | 第6-7页 |
| ·数字全息术概述 | 第7-9页 |
| ·光纤数字全息术及其发展 | 第9-10页 |
| ·数字全息术在微结构测量中的应用 | 第10-15页 |
| ·微小物体形貌测量 | 第11-12页 |
| ·微小物体形变测量 | 第12页 |
| ·微结构元件材料特性表征 | 第12-14页 |
| ·数字全息术在生物微结构和MEMS系统测试中的应用 | 第14-15页 |
| ·研究目的及意义 | 第15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第2章 数字无透镜傅里叶变换全息术及其相关理论研究 | 第17-34页 |
| ·无透镜傅里叶变换全息图 | 第17-21页 |
| ·无透镜傅里叶变换全息图的记录 | 第17-18页 |
| ·无透镜傅里叶变换全息图的再现 | 第18-20页 |
| ·衍射像分离的条件 | 第20-21页 |
| ·数字无透镜傅里叶变换全息术 | 第21-25页 |
| ·数字无透镜傅里叶变换全息术的数学模型 | 第21页 |
| ·菲涅耳衍射积分的快速解法 | 第21-23页 |
| ·再现像面的空间分辨率和横向分辨率 | 第23-25页 |
| ·数字无透镜傅里叶变换全息图的数值再现 | 第25页 |
| ·离轴全息记录系统空间带宽积的讨论 | 第25-32页 |
| ·CCD参数对记录条件的限制 | 第26-28页 |
| ·不同参考光的记录对CCD空间带宽的影响 | 第28-29页 |
| ·一般离轴全息记录光路的空间带宽积 | 第29-30页 |
| ·无透镜傅里叶变换全息光路的空间带宽积 | 第30-32页 |
| ·数字无透镜傅立叶变换图再现中的图像处理 | 第32-33页 |
| 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 数字无透镜傅里叶变换全息术用于小物体测量的实验研究 | 第34-53页 |
| ·反射小物体的数值再现 | 第34-36页 |
| ·实验光路 | 第34-35页 |
| ·实验结果 | 第35-36页 |
| ·透射小物体的分层再现及景深问题 | 第36-39页 |
| ·物场的逐层再现 | 第36页 |
| ·逐层再现的实验光路 | 第36-38页 |
| ·实验结果分析及讨论 | 第38-39页 |
| ·利用数字全息干涉术测量小物体形变 | 第39-47页 |
| ·数字全息干涉术的基本理论 | 第39-41页 |
| ·相位去包裹算法 | 第41-43页 |
| ·钢悬臂梁的离面位移测量 | 第43-45页 |
| ·电阻形变测量 | 第45-46页 |
| ·关于灵敏度矢量的讨论 | 第46-47页 |
| ·双源点法测小物体形貌的实验研究 | 第47-52页 |
| ·实验原理 | 第48-49页 |
| ·实验光路 | 第49-50页 |
| ·实验结果及分析 | 第50-52页 |
| 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 基于自聚焦透镜的光纤数字全息系统 | 第53-63页 |
| ·自聚焦透镜的基本特性 | 第53-57页 |
| ·自聚焦透镜的光学特性 | 第53-55页 |
| ·自聚焦透镜的成像特性 | 第55-57页 |
| ·基于自聚焦透镜的光纤数字全息系统 | 第57-58页 |
| ·利用自聚焦透镜成像记录小物体的全息图 | 第58-60页 |
| ·实验光路 | 第58页 |
| ·实验结果 | 第58-60页 |
| ·利用自聚焦透镜成像测量物场的变形 | 第60-61页 |
| ·不加自聚焦透镜的实验结果 | 第60-61页 |
| ·加自聚焦透镜的实验结果 | 第61页 |
| ·光纤作为传输介质对全息图记录的影响及讨论 | 第61-62页 |
| 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 结论与展望 | 第63-65页 |
| ·本文的总结 | 第63页 |
| ·未完成的工作及对下一步工作的建议 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读硕士期间发表和完成的学术论文及参加的科研项目 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
