| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-16页 |
| 1．1 微电子机械系统(MEMS)技术综述 | 第7-10页 |
| 1．1．1 MEMS及其发展概述 | 第7-8页 |
| 1．1．2 MEMS器件及应用 | 第8-9页 |
| 1．1．3 MEMS制造技术 | 第9-10页 |
| 1．2 燃料电池(FC)概述 | 第10-14页 |
| 1．2．1 微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC) | 第11页 |
| 1．2．2 μPEMFC的核心部件 | 第11-13页 |
| 1．2．3 μPEMFC的建模分析 | 第13-14页 |
| 1．3 μPEMFC研究现状 | 第14-15页 |
| 1．4 本论文研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 H_2／Air自呼吸式单体μPEMFC和电池组设计原理 | 第16-34页 |
| 2．1 一种H_2／Air自呼吸式μPEMFC单体 | 第16-17页 |
| 2．2 μPEMFC极板的流场设计 | 第17-30页 |
| 2．2．1 μPEMFC模型思路 | 第17-18页 |
| 2．2．3 阴极极板的流场结构化设计 | 第18-27页 |
| 2．2．4 阳极极板的流场结构化设计 | 第27-30页 |
| 2．3 微型质子交换膜燃料电池组的设计 | 第30-33页 |
| 2．4 本章总结 | 第33-34页 |
| 第三章 H_2／Air自呼吸式μPEMFC单体和电池组的MEMS技术 | 第34-44页 |
| 3．1 H_2／Air自呼吸式μPEMFC极板的工艺流程 | 第34-36页 |
| 3．2 硅的各向异性腐蚀中的凸角补偿技术 | 第36-40页 |
| 3．3 μPEMFC单体的封装 | 第40页 |
| 3．4 μPEMFC电池组的制作 | 第40-42页 |
| 3．5 本章总结 | 第42-44页 |
| 第四章 H_2／Air自呼吸式μPEMFC测试及性能分析 | 第44-56页 |
| 4．1 μPEMFC测试仪器 | 第44页 |
| 4．2 流场形状对μPEMFC性能的影响 | 第44-46页 |
| 4．3 不同装配压缩比对μPEMFC性能的影响 | 第46-48页 |
| 4．4 流场腐蚀时间及导电层对μPEMFC性能的影响 | 第48-50页 |
| 4．5 氢气流量对μPEMFC性能的影响 | 第50-51页 |
| 4．6 寿命实验 | 第51-53页 |
| 4．7 电池组性能测试 | 第53-55页 |
| 4．8 本章结论 | 第55-56页 |
| 第五章 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 硕士研究生期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 个人简历 | 第64-65页 |
| 附件一 中国科学院上海微系统与信息技术研究所学位论文独创性声明及使用授权声明文本 | 第65页 |
