多功能激光数字化干涉显微系统

目录	第1-4页
摘要	第4-5页
ABSTRACT	第5-6页
第一章 绪论	第6-9页
·国内外研究状况	第6-7页
·本课题的研究内容及主要任务	第7-9页
第二章 系统总体设计	第9-19页
·系统原理	第9-13页
·泰曼-格林系统的测量原理	第9-10页
·条纹扫描波面位相实时检测技术	第10-12页
·四步移相法	第12-13页
·系统的总体结构	第13-15页
·光学系统	第15-16页
·相关机械结构	第16-17页
·小结	第17-19页
第三章 移相系统	第19-34页
·压电晶体的微位移特性	第19-20页
·移相驱动电路	第20-29页
·移相驱动电路的设计和实现	第20-28页
·高压放大电路参数的测量	第28-29页
·压电晶体位移曲线的测量及拟合	第29-33页
·小结	第33-34页
第四章 干涉图像的采集和分析	第34-46页
·干涉图像的采集	第34-35页
·干涉图像的分析	第35-43页
·波面位相连续化处理	第36-38页
·波面拟合处理	第38-41页
·粗糙度分析	第41-43页
·实验结果及分析	第43-45页
·小结	第45-46页
第五章 系统改进及展望	第46-48页
参考文献	第48-50页
附录	第50-54页
致谢	第54页