| 第一章 绪论 | 第1-11页 |
| 1．1 离子束溅射镀膜的特点 | 第8-9页 |
| 1．2 国内、外研究状况 | 第9-10页 |
| 1．3 论文研究的目的与内容 | 第10-11页 |
| 第二章 系统总体设计 | 第11-19页 |
| 2．1 离子束溅射镀膜机的工作原理 | 第11-14页 |
| 2．2 系统总体方案设计 | 第14-19页 |
| 2．2．1 原多层膜元件的加工过程及存在的问题 | 第15-16页 |
| 2．2．2 改进方案与系统工作过程 | 第16-19页 |
| 第三章 系统硬件设计 | 第19-50页 |
| 3．1 频率测量单元 | 第19-37页 |
| 3．1．1 计数式测频电路的基本原理 | 第19-24页 |
| 3．1．2 等精度频率测量原理及误差分析 | 第24-37页 |
| 3．2 系统控制电路设计 | 第37-42页 |
| 3．2．1 步进电机工作原理 | 第38-40页 |
| 3．2．2 步进电机的驱动电路 | 第40-42页 |
| 3．3 主机控制部分电路 | 第42-50页 |
| 3．3．1 MCS-51机的报警电路 | 第44页 |
| 3．3．2 实时显示电路设计 | 第44-47页 |
| 3．3．3 MCS-51与IBM-PC机的串行通讯接口设计 | 第47-50页 |
| 第四章 系统软件设计 | 第50-62页 |
| 4．1 自检部分 | 第50-51页 |
| 4．2 频率测量部分 | 第51-55页 |
| 4．3 步进控制部分 | 第55-56页 |
| 4．4 显示数据的处理与通信 | 第56-59页 |
| 4．5 基于虚拟仪器的仪器软面板设计 | 第59-62页 |
| 第五章 实验及调试 | 第62-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-69页 |