| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-26页 |
| ·引言 | 第6-7页 |
| ·光开关的主要应用领域 | 第7-8页 |
| ·光开关的分类以及发展状况 | 第8-21页 |
| ·模拟型光开关 | 第9-11页 |
| ·数字光开关 | 第11-21页 |
| ·光开关国内外发展现状 | 第21页 |
| ·本论文的主要内容 | 第21-23页 |
| 参考文献: | 第23-26页 |
| 第二章 LiNbO_3材料和Ti扩散LiNbO_3波导 | 第26-36页 |
| ·LiNbO_3材料的基本特性 | 第26页 |
| ·LiNbO_3材料的电光效应 | 第26-28页 |
| ·Ti扩散LiNbO_3波导 | 第28-31页 |
| ·Ti扩散波导的扩散模型 | 第28-30页 |
| ·Ti浓度分布与波导折射率的关系 | 第30-31页 |
| ·Z切LiNbO_3单模波导的设计 | 第31-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第三章 带S弯曲可变衰减器的光开关设计 | 第36-52页 |
| ·S弯曲可变衰减器的设计 | 第36-43页 |
| ·S弯曲可变衰减器的原理 | 第36-38页 |
| ·S弯曲可变衰减器的设计分析 | 第38-43页 |
| ·1×2Y分叉数字光开关的设计 | 第43-48页 |
| ·Y分叉数字光开关的原理 | 第43-44页 |
| ·Y分叉数字光开关的设计 | 第44-48页 |
| ·带S弯曲可变衰减器的1×2Y分叉数字光开关的设计 | 第48页 |
| ·实验方案与版图设计 | 第48-51页 |
| ·实验方案的确定 | 第48-50页 |
| ·版图制作 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第四章 工艺制作 | 第52-63页 |
| ·波导的制作 | 第52-58页 |
| ·电极的制作 | 第58-62页 |
| 参考文献 | 第62-63页 |
| 第五章 器件测试与结果分析 | 第63-78页 |
| ·器件测试系统 | 第63-66页 |
| ·波导单模特性通光测试结果 | 第66-67页 |
| ·S弯曲可变衰减器测试结果与分析 | 第67-70页 |
| ·Y分叉数字光开关的测试结果与分析 | 第70-74页 |
| ·带S弯曲可变衰减器Y分叉数字光开关的测试结果与分析 | 第74-77页 |
| ·实验总结和分析 | 第77-78页 |
| 第六章 总结和展望 | 第78-80页 |
| ·总结 | 第78-79页 |
| ·展望 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
