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Fe、Ni共掺In2O3基稀磁半导体制备工艺及室温铁磁性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-28页
   ·自旋电子学简介第9-10页
   ·稀磁半导体第10-15页
     ·稀磁半导体结构和性质第10-12页
     ·稀磁半导体研究现状第12-13页
     ·稀磁半导体的应用前景第13-15页
   ·氧化物基稀磁半导体第15-25页
     ·In_2O_3基稀磁半导体研究现状第15-20页
     ·其它氧化物基稀磁半导体研究现状第20-21页
     ·氧化物稀磁半导体磁性理论第21-25页
   ·本论文的目的、意义及主要研究内容第25-27页
     ·本论文研究目的、意义第25-26页
     ·本论文的主要研究内容第26-27页
   ·本章小结第27-28页
第2章 实验方法第28-36页
   ·块体制备方法简介第28-30页
     ·固相反应法第28-29页
     ·机械合金法第29-30页
     ·溶胶凝胶法第30页
     ·共沉淀法第30页
   ·薄膜制备方法简介第30-34页
     ·分子束外延低温生长技术第31页
     ·化学气相沉积法第31-32页
     ·磁控溅射法第32页
     ·激光脉冲沉积法第32-33页
     ·原子层取向生长法第33页
     ·电子束真空蒸镀第33-34页
   ·本论文所选实验方案第34-35页
   ·本章小结第35-36页
第3章(In_(0.9-x)Fe_(0.1)Ni_x)_2O_3稀磁半导体的固相反应法制备、表征及磁性研究第36-46页
   ·样品的制备第36-37页
     ·实验原料及设备第36页
     ·制备工艺流程第36-37页
   ·块体的测试分析第37-45页
     ·样品结构分析第37-39页
     ·样品的形貌分析第39-42页
     ·样品的磁性能分析第42-45页
   ·本章小结第45-46页
第4章 电子束真空蒸镀法制备(In_(0.88)Fe_(0.1)Ni_(0.02))_2O_3稀磁半导体薄膜第46-53页
   ·实验原料和设备第46-47页
     ·实验原料第46页
     ·实验设备第46-47页
   ·样品制备第47-48页
     ·玻璃基底的处理第47页
     ·电子束真空蒸镀制备流程第47-48页
   ·镀膜工艺参数对薄膜的影响第48-52页
     ·氧氩气体流量比第48-50页
     ·基底温度第50-52页
   ·本章小结第52-53页
第5章 总结与展望第53-55页
   ·主要结论第53-54页
   ·有待研究的问题第54页
   ·展望第54-55页
参考文献第55-59页
致谢第59-60页
攻读硕士期间发表的论文第60页

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