| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·软磁材料的发展历程 | 第9-10页 |
| ·软磁薄膜 | 第10-13页 |
| ·软磁性单层膜 | 第10-11页 |
| ·软磁颗粒膜 | 第11-12页 |
| ·软磁多层膜 | 第12-13页 |
| ·选题意义及依据 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 相关的理论基础 | 第15-28页 |
| ·磁性材料的能量 | 第15-16页 |
| ·材料的静磁特性 | 第16-18页 |
| ·软磁材料动态磁化过程 | 第18-23页 |
| ·软磁材料的动态磁化参数 | 第20-21页 |
| ·软磁材料的损耗 | 第21-23页 |
| ·晶粒尺度对软磁性能的影响 | 第23-24页 |
| ·微波磁导率理论 | 第24-26页 |
| ·高频软磁薄膜的性能要求 | 第26-28页 |
| 第三章 薄膜的制备和测试方法 | 第28-34页 |
| ·样品的制备 | 第28-31页 |
| ·磁控溅射的基本原理 | 第28-29页 |
| ·本实验使用磁控溅射设备 | 第29-30页 |
| ·溅射工艺条件的选择 | 第30-31页 |
| ·磁性测量——振动样品磁强计(VSM) | 第31-32页 |
| ·高频磁导率的测量 | 第32-34页 |
| 第四章 底层对FeCo 软磁薄膜的磁性能的影响 | 第34-45页 |
| ·溅射气压和功率对薄膜磁性能的影响 | 第34-35页 |
| ·底层厚度对双层薄膜磁性能的影响 | 第35-40页 |
| ·CoNbZr/FeCo 磁性能与结构 | 第35-38页 |
| ·NiFe/FeCo 薄膜的磁性能 | 第38-40页 |
| ·NiFe/FeCo 的磁谱 | 第40页 |
| ·倾斜沉积对磁性能的影响 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 NiFe/FeCo/Oxide 多层膜的磁性能研究 | 第45-55页 |
| ·NiFe/FeCo/FeCoO 的磁性能 | 第45-50页 |
| ·FeCoO 对多层膜磁性能的影响 | 第45-47页 |
| ·O_2 流量和FeCoO 厚度对薄膜电阻率的影响 | 第47-48页 |
| ·NiFe/FeCo/FeCoO 的磁谱 | 第48-50页 |
| ·NiFe/FeCo/NiO 的磁性能 | 第50-53页 |
| ·NiO 厚度对薄膜磁性的影响 | 第50-52页 |
| ·NiFe/FeCo/NiO 的磁谱 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第六章 总结 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第62-63页 |