| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-40页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第16-17页 |
| ·研究现状 | 第17-37页 |
| ·菲索干涉仪研究进展 | 第17-22页 |
| ·菲索干涉仪精度衡量标准与误差理论 | 第22-27页 |
| ·菲索干涉仪面形检测 | 第27-37页 |
| ·主要研究内容和结构安排 | 第37-40页 |
| 第2章 温度变化对平面绝对检验面形变形的影响 | 第40-84页 |
| ·引言 | 第40-42页 |
| ·面形热变形理论和计算方法 | 第42-43页 |
| ·辅助平面有限元数学模型构建 | 第43-45页 |
| ·辅助平面有限元数学模型—网格划分 | 第43-45页 |
| ·网格划分精度(镜面模型精度的理论证明) | 第45页 |
| ·辅助平面 Zernike 多项式面形拟合方法 | 第45-53页 |
| ·Zernike 多项式表达式 | 第45-49页 |
| ·面形拟合方法 | 第49-52页 |
| ·拟合算法精度比较 | 第52-53页 |
| ·二维插值方法选择 | 第53-55页 |
| ·温度变化对绝对检验辅助平面像差组合面形模式的影响 | 第55-81页 |
| ·面形像差分类 | 第55-60页 |
| ·同类像差组合面形模式 | 第60-68页 |
| ·偶对称与偶对称的像差组合面形模式 | 第68-74页 |
| ·偶对称与奇对称的像差组合面形模式 | 第74-81页 |
| ·有限元模型的进一步发展—辅助球面有限元基本理论研究 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第3章 绝对检验辅助球面面形变形有限元模拟与分析 | 第84-100页 |
| ·引言 | 第84-85页 |
| ·球面辅助镜有限元面形建立 | 第85-89页 |
| ·绝对检验辅助球面镜几何模型的建立 | 第85-86页 |
| ·Zernike 面形拟合方法 | 第86-88页 |
| ·面形变形理论计算方法 | 第88-89页 |
| ·面形节点数据拟合与分析 | 第89-91页 |
| ·三种材料的绝对检验辅助镜在重力、均匀温升、装夹力三者迭加及耦合作用后与只有重力、装夹力作用的表面面形情况比较 | 第89-90页 |
| ·热变形引起的表面变形量 | 第90-91页 |
| ·温度变化对绝对检验辅助球面面形的影响 | 第91-98页 |
| ·热变形模型的建立 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-100页 |
| 第4章 非球面检验补偿器设计 | 第100-108页 |
| ·引言 | 第100页 |
| ·非球面检验光路设计 | 第100-107页 |
| ·检验基本光路 | 第100-101页 |
| ·待检非球面特点分析 | 第101-103页 |
| ·Offner 补偿器的设计与仿真分析 | 第103页 |
| ·补偿镜布局 | 第103-107页 |
| ·结论 | 第107-108页 |
| 第5章 总结 | 第108-112页 |
| ·论文结论 | 第108-110页 |
| ·创新点 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-118页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第118-120页 |
| 指导教师及作者简介 | 第120-121页 |
| 致谢 | 第121页 |
