基于显微视觉导向的光掩模特征尺寸的精密测量与研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·本论文的研究目的与意义 | 第11页 |
| ·微纳米测量的光学方法 | 第11-15页 |
| ·光学显微测量技术 | 第11-12页 |
| ·激光扫描显微测量技术 | 第12-14页 |
| ·扫描电子显微镜技术 | 第14-15页 |
| ·原子力显微镜技术 | 第15页 |
| ·视觉测量技术研究现状 | 第15-17页 |
| ·本论文的主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 光掩模测量系统的硬件和运动控制 | 第18-26页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·宏动定位系统 | 第18-21页 |
| ·宏动定位平台的硬件 | 第18-19页 |
| ·宏动定位平台的控制 | 第19-21页 |
| ·微动定位系统 | 第21-24页 |
| ·微动定位平台的硬件 | 第21-22页 |
| ·微动定位平台的控制 | 第22-24页 |
| ·图像采集系统 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 光掩模测量的光学研究 | 第26-37页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·光掩模测量的光学基础 | 第26-28页 |
| ·多缝夫琅禾费衍射 | 第26-27页 |
| ·光的散射 | 第27-28页 |
| ·光与被测物间的相互作用 | 第28页 |
| ·光掩模测量的光学模型与分析 | 第28-36页 |
| ·光源类型的选择 | 第29页 |
| ·同轴光照射的模型与衬比度 | 第29-31页 |
| ·环形光照射的模型与衬比度 | 第31-32页 |
| ·平行背光照射的模型 | 第32-34页 |
| ·背射光的改进与背光照射衬比度 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 光掩模测量系统的自动对焦研究 | 第37-50页 |
| ·自动对焦的分类 | 第37-39页 |
| ·自动对焦的图像预处理 | 第39-41页 |
| ·数字式自动对焦的核心问题 | 第41-44页 |
| ·图像的清晰度的评价 | 第41-42页 |
| ·对焦窗口的选择 | 第42-43页 |
| ·对焦搜索算法 | 第43-44页 |
| ·光掩模测量系统的自动对焦研究 | 第44-49页 |
| ·图像清晰度函数的选择 | 第44-46页 |
| ·光掩模对焦窗口的选择 | 第46页 |
| ·搜索算法的选择 | 第46-47页 |
| ·自动对焦实验 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 显微视觉的测量 | 第50-66页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·光学系统的像差 | 第50-51页 |
| ·边缘检测 | 第51-57页 |
| ·边缘检测介绍 | 第51-54页 |
| ·传统的边缘检测算子 | 第54-57页 |
| ·亚像素边缘检测技术 | 第57-61页 |
| ·亚像素边缘检测概述 | 第57-58页 |
| ·亚像素定位算法 | 第58-61页 |
| ·光掩模线宽测量 | 第61-65页 |
| ·亚像素线宽测量 | 第61-64页 |
| ·测量结果分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论与展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 附录高斯拟合程序框图 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
