离子束加工技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| ·离子束加工技术的研究背景 | 第12-13页 |
| ·光学元件加工技术概况 | 第13-15页 |
| ·离子束加工技术发展及现状 | 第15-21页 |
| ·本论文内容和结构 | 第21-24页 |
| 第2章 离子束加工驻留时间的求解方法 | 第24-50页 |
| ·驻留时间矩阵方程模型的建立 | 第25-29页 |
| ·离子束加工过程分析 | 第25-27页 |
| ·离子束单位时间材料去除量函数 | 第27-28页 |
| ·期望材料去除量函数 | 第28页 |
| ·矩阵方程模型 | 第28-29页 |
| ·驻留时间矩阵方程的优化求解 | 第29-33页 |
| ·初始误差面形的优化延拓 | 第33-36页 |
| ·初始误差面形讨论 | 第33-34页 |
| ·Gerchberg 带限外插算法 | 第34-36页 |
| ·仿真验证 | 第36-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 离子束加工定位误差分析 | 第50-62页 |
| ·模型的建立 | 第50-54页 |
| ·系统结构分析 | 第50-51页 |
| ·离子源运动子模型 | 第51-53页 |
| ·仿真加工模型 | 第53-54页 |
| ·定位误差分析 | 第54-57页 |
| ·误差模型 | 第54-55页 |
| ·定位误差对最终面形精度的影响 | 第55-57页 |
| ·仿真验证 | 第57-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第4章 离子束迭代加工分析 | 第62-74页 |
| ·概述 | 第62-63页 |
| ·迭代加工方法和原则 | 第63-64页 |
| ·仿真加工 | 第64-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第5章 离子束扫描加工路径优化 | 第74-86页 |
| ·概述 | 第74页 |
| ·遗传算法概述 | 第74-77页 |
| ·遗传算法基本原理 | 第74-75页 |
| ·遗传算法的基本步骤 | 第75-77页 |
| ·遗传算法路径优化 | 第77-79页 |
| ·仿真实例 | 第79-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第6章 离子束加工工艺实验 | 第86-106页 |
| ·概述 | 第86页 |
| ·离子束刻蚀粗糙度实验 | 第86-104页 |
| ·实验设备 | 第86-89页 |
| ·实验过程 | 第89-104页 |
| ·实验结果及分析 | 第104-106页 |
| 第7章 总结与展望 | 第106-108页 |
| ·本论文完成内容 | 第106-107页 |
| ·论文主要创新点 | 第107页 |
| ·展望 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-118页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第118-119页 |
| 指导教师及作者简介 | 第119-120页 |
| 致谢 | 第120页 |
