硅基光学耦合器件及三维光子集成的研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 绪论	第9-15页
1.1 引言	第9-10页
1.2 平面集成光路的发展	第10-12页
1.3 三维光子集成的重要意义	第12-13页
1.4 本文主要完成的工作	第13-15页
2 集成光学耦合器件及基本理论	第15-24页
2.1 光波导基本理论	第15-18页
2.2 耦合模理论与数值分析方法	第18-22页
2.3 两种典型集成光学耦合器件的工作原理	第22-23页
2.4 本章小结	第23-24页
3 光栅辅助反向耦合器的设计与仿真	第24-39页
3.1 反向耦合器的传输模型	第24-26页
3.2 影响反向耦合器特性的关键参数	第26-29页
3.3 亚波长光栅波导的理论模型	第29-31页
3.4 基于亚波长光栅波导的新型反向耦合器设计	第31-38页
3.5 本章小结	第38-39页
4 三维垂直衰逝耦合器件设计、工艺与测试	第39-53页
4.1 三维垂直耦合器的仿真与设计	第39-44页
4.2 三维器件制作主要工艺流程	第44-48页
4.3 光交叉垂直耦合器的实验制作与测试	第48-52页
4.4 本章小结	第52-53页
5 总结与展望	第53-55页
致谢	第55-56页
参考文献	第56-61页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录	第61页