薄膜体声波谐振器（FBAR）在生物检测领域的研究探索
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 主要符号表 | 第11-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 FBAR工作原理与研究现状 | 第12-21页 |
| 1.1.1 压电效应 | 第12-13页 |
| 1.1.2 FBAR基本结构 | 第13-19页 |
| 1.1.3 FBAR工作原理 | 第19-20页 |
| 1.1.4 FBAR的国内外研究现状 | 第20-21页 |
| 1.2 生物传感器工作原理与分类 | 第21-26页 |
| 1.2.1 生物传感器的工作原理 | 第21页 |
| 1.2.2 生物传感器的分类 | 第21-26页 |
| 1.2.3 纳米技术在生物传感器上的应用 | 第26页 |
| 1.3 FBAR生物传感器的研究现状 | 第26-27页 |
| 1.4 选题意义研究内容与章节安排 | 第27-30页 |
| 第2章 FBAR的制备与性能表征 | 第30-41页 |
| 2.1 FBAR压电层材料及其制备方法的选择 | 第30-34页 |
| 2.1.1 压电层材料的选择 | 第30-31页 |
| 2.1.2 压电层材料的制备方法 | 第31-34页 |
| 2.2 固态装配型FBAR的制备 | 第34-36页 |
| 2.2.1 制备材料与仪器 | 第34页 |
| 2.2.2 FBAR的制备流程与工艺 | 第34-36页 |
| 2.3 FBAR的性能表征 | 第36-41页 |
| 2.3.1 AlN压电层的表征 | 第36-37页 |
| 2.3.2 布拉格反射层的表征 | 第37页 |
| 2.3.3 金电极的表征 | 第37-38页 |
| 2.3.4 FBAR谐振性能的表征 | 第38-41页 |
| 第3章 FBAR生物传感器的制备 | 第41-48页 |
| 3.1 MUC1适配体-金纳米颗粒螯合物的制备 | 第42-45页 |
| 3.1.1 相关试剂说明 | 第42-43页 |
| 3.1.2 金纳米颗粒的制备 | 第43-44页 |
| 3.1.3 MUC1适配体与金纳米颗粒的组装 | 第44-45页 |
| 3.2 亲和素生物敏感层在FBAR表面的装配 | 第45-48页 |
| 3.2.1 生物素与亲和素简介 | 第45页 |
| 3.2.2 亲和素在FBAR表面装配过程 | 第45-46页 |
| 3.2.3 生物敏感层的制备结果分析 | 第46-48页 |
| 第4章 FBAR生物传感器性能测试与结果分析 | 第48-54页 |
| 4.1 检测方法 | 第48-49页 |
| 4.2 检测结果及分析 | 第49-53页 |
| 4.2.1 特异性检测结果与分析 | 第49-51页 |
| 4.2.2 灵敏度检测结果与分析 | 第51-52页 |
| 4.2.3 选择性检测结果与分析 | 第52-53页 |
| 4.3 FBAR生物传感器性能总结 | 第53-54页 |
| 结论与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 附录 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
