| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 光开关及光开光阵列的研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 光开关的种类 | 第11-14页 |
| 1.3 有机聚合物热光开关简介 | 第14-17页 |
| 1.4 有机聚合物热光开关及开关阵列的研究进展 | 第17-18页 |
| 1.5 本论文的主要内容 | 第18-21页 |
| 第二章 平面介质光波导理论与MMI耦合器基本原理 | 第21-39页 |
| 2.1 平面光波导射线理论 | 第21-23页 |
| 2.2 平面光波导磁场理论分析 | 第23-29页 |
| 2.2.1 波导中TE模的传输特性 | 第26-28页 |
| 2.2.2 波导中TM模的传输特性 | 第28-29页 |
| 2.3 矩形波导的有效折射率法 | 第29-31页 |
| 2.4 多模干涉耦合器型热光开关原理分析 | 第31-38页 |
| 2.4.1 热光效应 | 第31-32页 |
| 2.4.2 多模耦合器工作原理 | 第32-38页 |
| 2.5 小结 | 第38-39页 |
| 第三章 低功耗高集成度的MMI-MZI热光开关的设计 | 第39-47页 |
| 3.1 相关材料的选取 | 第39-40页 |
| 3.1.1 ZPU和LFR材料及其参数 | 第39-40页 |
| 3.1.2 铝电极 | 第40页 |
| 3.2 单模传输条件以及波导尺寸的确定 | 第40-42页 |
| 3.3 2×2MMI-MZI聚合物热光开关的结构设计 | 第42-45页 |
| 3.3.1 3dB多模干涉耦合器的尺寸设计 | 第42-43页 |
| 3.3.2 MMI-MZI的MZI结构的设计 | 第43-45页 |
| 3.4 2×2MMI-MZI聚合物热光开关的性能模拟 | 第45-46页 |
| 3.5 小结 | 第46-47页 |
| 第四章 MMI-MZI热光开关的制备和测试 | 第47-59页 |
| 4.1 聚合物热光开光制备流程及相关设备简介 | 第47-49页 |
| 4.1.1 聚合物光波导器件的制备流程 | 第47-48页 |
| 4.1.2 工艺流程中相关设备简介 | 第48-49页 |
| 4.2 2×2MMI-MZI聚合物热光开关的制备 | 第49-54页 |
| 4.3 光开关的参数 | 第54-55页 |
| 4.4 2×2MMI-MZI型热光开关的测试 | 第55-57页 |
| 4.4.1 热光开关的静态工作特性测试 | 第55-56页 |
| 4.4.2 热光开关的动态工作特性测试 | 第56-57页 |
| 4.5 2×2MMI-MZI型热光开关的测试结果及分析 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 基于MMI-MZI的4×4开关阵列的设计与制备 | 第59-66页 |
| 5.1 4×4开关阵列的结构及设计 | 第59-61页 |
| 5.2 4×4开关阵列制备 | 第61-62页 |
| 5.3 4×4开关阵列的测试 | 第62-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-66页 |
| 总结和展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第73页 |
