| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第13页 |
| 1.2 微加速度计的分类 | 第13-15页 |
| 1.3 扭摆式微加速度计研究现状 | 第15-21页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4 蝶翼式微加速度计的提出及前期研究 | 第21-23页 |
| 1.5 本文主要工作内容 | 第23-25页 |
| 第二章 蝶翼式微加速度计结构优化设计 | 第25-38页 |
| 2.1 蝶翼式微加速度计工作原理 | 第25-27页 |
| 2.1.1 加速度计基本原理 | 第25-26页 |
| 2.1.2 蝶翼式微加速度计总体结构 | 第26页 |
| 2.1.3 蝶翼式加速度计工作原理 | 第26-27页 |
| 2.2 蝶翼式微加速度计结构优化 | 第27-30页 |
| 2.2.1 扭转梁优化 | 第28页 |
| 2.2.2 支撑框架优化 | 第28-29页 |
| 2.2.3 检测电极优化 | 第29页 |
| 2.2.4 具体尺寸设计 | 第29-30页 |
| 2.3 基于V形截面梁的蝶翼式微加速度计结构分析与仿真 | 第30-37页 |
| 2.3.1 机械灵敏度分析 | 第31-33页 |
| 2.3.2 交叉轴误差仿真分析 | 第33-34页 |
| 2.3.3 模态分析 | 第34-35页 |
| 2.3.4 温度特性分析 | 第35-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 蝶翼式微加速度计加工工艺优化设计 | 第38-48页 |
| 3.1 硅敏感结构加工工艺优化 | 第38-41页 |
| 3.2 玻璃电极加工工艺 | 第41-43页 |
| 3.3 划片与封装 | 第43-47页 |
| 3.3.1 封装 | 第43-44页 |
| 3.3.2 退火工艺 | 第44页 |
| 3.3.3 芯片检测设计 | 第44-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 电路优化设计及温度补偿 | 第48-53页 |
| 4.1 检测电路优化设计 | 第48-51页 |
| 4.1.1 蝶翼式微加速度计工作等效电路 | 第48-49页 |
| 4.1.2 蝶翼式微加速度计检测电路基本原理 | 第49-50页 |
| 4.1.3 蝶翼式微加速度计检测电路改进设计 | 第50-51页 |
| 4.2 温度补偿设计 | 第51-52页 |
| 4.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 加速度计性能测试 | 第53-63页 |
| 5.1 测试平台简介 | 第53-54页 |
| 5.2 内置参考电容与外置参考电容的测试对比 | 第54-57页 |
| 5.2.1 1g稳定性测试 | 第54-55页 |
| 5.2.2 1g全温区特性测试 | 第55-56页 |
| 5.2.3 标度因数温度灵敏度测试 | 第56-57页 |
| 5.3 典型蝶翼式微加速度计样机测试 | 第57-61页 |
| 5.3.1 标度因数测试 | 第57页 |
| 5.3.2 交叉轴灵敏度测试 | 第57-58页 |
| 5.3.3 量程非线性测试 | 第58-59页 |
| 5.3.4 1g稳定性测试分析 | 第59页 |
| 5.3.5 1g全温区特性测试 | 第59-60页 |
| 5.3.6 1g标度因数温度灵敏度测试 | 第60-61页 |
| 5.4 温度补偿电路功能测试 | 第61页 |
| 5.5 性能综合分析 | 第61-62页 |
| 5.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 全文总结 | 第63页 |
| 6.2 工作展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第71页 |