| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10-12页 |
| 1.1.1 MEMS加速度计概述 | 第10页 |
| 1.1.2 MEMS加速度计的发展 | 第10-11页 |
| 1.1.3 MEMS加速度计的分类 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 MEMS加速度计国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 温度补偿方法国内外研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 研究意义与研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 扭摆式硅微加速度计工作原理 | 第17-23页 |
| 2.1 MEMS加速度计的性能参数 | 第17-18页 |
| 2.1.1 基本性能参数 | 第17-18页 |
| 2.1.2 零偏稳定性 | 第18页 |
| 2.1.3 标度因数温度系数 | 第18页 |
| 2.2 扭摆式硅微加速度计 | 第18-20页 |
| 2.3 扭摆式硅微加速度计结构与原理 | 第20-21页 |
| 2.4 扭摆式硅微加速度计温度特性分析 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 MEMS加速度计敏感信号读出电路设计 | 第23-37页 |
| 3.1 典型微小电容信号的检测方法 | 第23-26页 |
| 3.1.1 电荷放大器检测方法 | 第23-24页 |
| 3.1.2 跨阻放大器检测方法 | 第24-25页 |
| 3.1.3 开关电容检测方法 | 第25-26页 |
| 3.2 基于扭摆式硅微加速度计的电容检测电路设计 | 第26-35页 |
| 3.2.1 电荷放大器设计 | 第26-28页 |
| 3.2.2 解调电路设计 | 第28-29页 |
| 3.2.3 滤波放大电路设计 | 第29-30页 |
| 3.2.4 基于电荷放大器的低噪声电路优化设计 | 第30-33页 |
| 3.2.5 基于滤波放大电路的低噪声电路优化设计 | 第33-35页 |
| 3.3 信号检测电路总图及仿真分析 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 硅微加速度计性能补偿系统研究 | 第37-58页 |
| 4.1 补偿系统设计方案 | 第37页 |
| 4.2 硅微加速度计温度补偿方法研究 | 第37-51页 |
| 4.2.1 基于最小二乘多项式拟合的硅微加速度计补偿模型辨识 | 第38-41页 |
| 4.2.2 基于BP神经网络的硅微加速度计补偿模型辨识 | 第41-46页 |
| 4.2.3 基于改进PSO_BP神经网络的硅微加速度计补偿模型辨识 | 第46-50页 |
| 4.2.4 三种补偿模型补偿效果对比分析 | 第50-51页 |
| 4.3 系统硬件设计 | 第51-54页 |
| 4.4 系统软件设计 | 第54-57页 |
| 4.4.1 数据采集程序设计 | 第55-56页 |
| 4.4.2 补偿模型搭建 | 第56页 |
| 4.4.3 串口发送程序设计 | 第56-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 测试结果与性能分析 | 第58-65页 |
| 5.1 系统测试方案 | 第58-60页 |
| 5.1.1 敏感信号读出电路测试方案 | 第58-59页 |
| 5.1.2 性能补偿系统测试方案 | 第59-60页 |
| 5.2 性能测试与结果分析 | 第60-64页 |
| 5.2.1 敏感信号读出电路性能测试结果 | 第60-62页 |
| 5.2.2 温度补偿测试结果 | 第62-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 总结 | 第65页 |
| 6.2 展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
