| 摘要 | 第2-3页 |
| abstract | 第3-4页 |
| 第一章 引言 | 第7-17页 |
| 1.1 铁电材料简介 | 第7-8页 |
| 1.2 铁电存储器 | 第8-14页 |
| 1.2.1 铁电随机存储器和铁电场效应管 | 第8-9页 |
| 1.2.2 铁电隧道结 | 第9-14页 |
| 1.3 存储器集成方式 | 第14-15页 |
| 1.4 本论文的工作内容、目的及意义 | 第15-17页 |
| 第二章 样品制备工艺及测试方法 | 第17-24页 |
| 2.1 脉冲激光沉积系统外延薄膜异质结构 | 第17-19页 |
| 2.1.1 脉冲激光沉积系统 | 第17-18页 |
| 2.1.2 磁控溅射技术 | 第18-19页 |
| 2.2 隧道结样品微加工制备流程 | 第19-20页 |
| 2.3 X射线测试技术 | 第20-21页 |
| 2.4 扫描探针显微镜 | 第21-23页 |
| 2.4.1 原子力显微镜 | 第21-22页 |
| 2.4.2 压电力显微镜 | 第22-23页 |
| 2.5 电学性能测试 | 第23-24页 |
| 第三章 BaTiO_3超薄膜的外延生长和隧穿电致电阻特性 | 第24-29页 |
| 3.1 BaTiO_3超薄膜外延生长 | 第24-25页 |
| 3.2 铁电性表征 | 第25-27页 |
| 3.3 隧道结电致电阻特性 | 第27-29页 |
| 第四章 Pt/BaTiO_3/Nb:SrTiO_3铁电隧道结的存储性能优化 | 第29-40页 |
| 4.1 铁电层厚度对隧道结电致电阻的影响 | 第29-30页 |
| 4.2 半导体电极掺杂浓度对铁电隧道结电致电阻特性的影响 | 第30-38页 |
| 4.3 本章小结 | 第38-40页 |
| 第五章 Pt/BaTiO_3/Nb:SrTiO_3铁电隧道结的热稳定性 | 第40-48页 |
| 5.1 Pt/BaTiO_3(4u.c.)/Nb:SrTiO_3(0.7wt%)铁电隧道结的高温电致电阻 | 第40-46页 |
| 5.2 本章小结 | 第46-48页 |
| 第六章 基于Pt/BaTiO_3/Nb:SrTiO_3铁电隧道结的互补阻变开关 | 第48-55页 |
| 6.1 非破坏性互补阻变开关的设计和阻变特性 | 第48-52页 |
| 6.2 串扰电流的抑制 | 第52-54页 |
| 6.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
