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锗纳米晶与纳米孔洞在二氧化硅基质中的空间分布、微观结构及扩散现象研究

摘要第2-3页
abstract第3页
引言第6-7页
第一章 绪论第7-14页
    1.1 半导体纳米材料的基本特性第7-9页
        1.1.1 表面效应第7-8页
        1.1.2 小尺寸效应第8页
        1.1.3 量子尺寸效应第8-9页
        1.1.4 宏观量子隧道效应第9页
    1.2 半导体纳米材料物理特质第9-12页
        1.2.1 电学性质第9-10页
        1.2.2 光学性质第10页
        1.2.3 发光性质第10-12页
    1.3 半导体纳米材料的应用第12-13页
        1.3.1 催化领域第12页
        1.3.2 传感器领域第12页
        1.3.3 太阳能电池领域第12-13页
    1.4 本论文研究的主要内容和意义第13-14页
第二章 半导体纳米晶的制备和表征第14-20页
    2.1 离子注入法第14-16页
    2.2 半导体纳米晶的表征第16-20页
        2.2.1 选区电子衍射第16-17页
        2.2.2 电子能量损失谱第17-18页
        2.2.3 高分辨电子显微学第18-20页
第三章 纳米孔洞对锗纳米晶微观结构及向外扩散的影响第20-32页
    3.1 研究背景第20-21页
    3.2 实验方法第21页
    3.3 结果与讨论第21-31页
        3.3.1 锗纳米晶的形成第21-25页
        3.3.2 锗纳米晶的微观结构及纳米孔洞的形成第25-28页
        3.3.3 锗纳米晶的不均匀分布第28-31页
    3.4 小结第31-32页
第四章 铒离子、硅离子与锗离子共注入对锗纳米晶的微观结构及向外扩散的影响第32-42页
    4.1 研究背景第32-33页
    4.2 实验方法第33页
    4.3 结果与讨论第33-41页
        4.3.1 纳米晶在二氧化硅基质中的分布第33-35页
        4.3.2 铒离子、硅离子与锗离子共注入对于锗纳米晶及纳米孔洞的影响第35-37页
        4.3.3 铒离子、硅离子与锗离子共注入对于锗纳米晶微观结构的影响第37-41页
    4.4 小结第41-42页
第五章 总结与展望第42-44页
    一、本论文主要的研究成果与结论第42页
    二、后续工作建议及展望第42-44页
参考文献第44-51页
攻读硕士学位期间的研究成果第51-52页
致谢第52-53页

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