基于氮化钛的光学超材料吸波器研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-10页 |
| 2 氮化钛的结构及光学特性 | 第10-15页 |
| 2.1 氮化钛的基本结构 | 第10页 |
| 2.2 氮化钛的化学物理特性 | 第10-11页 |
| 2.3 氮化钛的光学特性 | 第11页 |
| 2.4 氮化钛的应用 | 第11-12页 |
| 2.5 氮化钛光学超材料应用研究进展 | 第12-15页 |
| 3 氮化钛薄膜的制备技术研究 | 第15-34页 |
| 3.1 氮化钛薄膜的特性 | 第15-17页 |
| 3.2 氮化钛薄膜的制备技术 | 第17-24页 |
| 3.2.1 薄膜制备技术 | 第17-19页 |
| 3.2.2 薄膜表征方法 | 第19-22页 |
| 3.2.3 氮化钛薄膜制备的研究进展 | 第22-24页 |
| 3.3 磁控溅射制备氮化钛薄膜研究 | 第24-34页 |
| 3.3.1 磁控溅射制备氮化钛薄膜 | 第24-28页 |
| 3.3.2 薄膜制备的工艺参数研究 | 第28-30页 |
| 3.3.3 氮化钛薄膜的表征 | 第30-34页 |
| 4 基于氮化钛的光学超材料吸波器研究 | 第34-56页 |
| 4.1 基于氮化钛的超材料吸波器的设计 | 第34-35页 |
| 4.2 仿真工具的介绍及选择 | 第35页 |
| 4.3 氮化钛复合结构吸波器 | 第35-41页 |
| 4.4 氮化钛圆柱形光学超材料吸波器 | 第41-45页 |
| 4.5 氮化钛环形光学超材料吸波器 | 第45-50页 |
| 4.6 氮化钛圆形环光学超材料吸波器 | 第50-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 总结 | 第56页 |
| 5.2 展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
