硅基多模干涉耦合器的设计与应用
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 硅基光电子学的发展现状 | 第12-15页 |
| 1.2 硅基光电子学与片上互连技术发展 | 第15-16页 |
| 1.3 硅基耦合器的分类 | 第16-20页 |
| 1.3.1 硅基定向耦合器 | 第17-18页 |
| 1.3.2 Y分叉耦合器 | 第18-19页 |
| 1.3.3 多模干涉耦合器 | 第19-20页 |
| 1.4 硅基MMI的研究进展 | 第20-24页 |
| 1.5 论文的创新点和内容安排 | 第24-26页 |
| 第二章 MMI的理论基础 | 第26-38页 |
| 2.1 自映像效应 | 第26-29页 |
| 2.1.1 波导传输理论分析 | 第26-28页 |
| 2.1.2 导模传输分析 | 第28-29页 |
| 2.2 多模干涉耦合器的分类 | 第29-34页 |
| 2.2.1 一般干涉型MMI | 第30-32页 |
| 2.2.2 配对干涉型MMI | 第32-33页 |
| 2.2.3 对称干涉型MMI | 第33-34页 |
| 2.3 硅基MMI中的相位关系分析 | 第34-36页 |
| 2.3.1 1×2型MMI中的相位关系 | 第34-35页 |
| 2.3.2 N×N型MMI中的相位关系 | 第35-36页 |
| 2.4 MMI的仿真求解方法 | 第36-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 硅基MMI的仿真设计与加工工艺 | 第38-56页 |
| 3.1 硅基波导中的模场分析 | 第38-39页 |
| 3.2 硅基MMI的性能指标 | 第39-42页 |
| 3.3 1×2 MMI的仿真优化 | 第42-47页 |
| 3.4 2×2 MMI的仿真优化 | 第47-52页 |
| 3.5 硅基光电子的加工工艺 | 第52-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 硅基MMI的实验设计与测试分析 | 第56-68页 |
| 4.1 硅基MMI的版图设计 | 第56-59页 |
| 4.2 MMI测试系统搭建与实验设计 | 第59-67页 |
| 4.2.1 无源测试系统 | 第59-60页 |
| 4.2.2 1×2 MMI实验测试分析 | 第60-64页 |
| 4.2.3 2×2MMI的测试分析 | 第64-67页 |
| 4.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 基于MMI的硅基热光开光的测试与分析 | 第68-74页 |
| 5.1 热光开光基本原理 | 第68-69页 |
| 5.2 实验设计和测试系统搭建 | 第69页 |
| 5.3 测试分析 | 第69-72页 |
| 5.4 本章小结 | 第72-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 总结 | 第74-75页 |
| 6.2 展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-84页 |
| 攻读硕士期间学术成果 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
