钽酸锂热释电红外探测器特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 热释电探测器 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11页 |
| 1.4 论文的研究内容和结构安排 | 第11-13页 |
| 第二章 热释电探测器工作原理 | 第13-25页 |
| 2.1 热释电材料 | 第13-16页 |
| 2.1.1 热释电效应 | 第13-14页 |
| 2.1.2 热释电材料的基本参数 | 第14页 |
| 2.1.3 热释电材料的选择 | 第14-16页 |
| 2.2 热释电红外探测器性能参数 | 第16-24页 |
| 2.2.1 热转换 | 第16-17页 |
| 2.2.2 热-电转换 | 第17-18页 |
| 2.2.3 噪声 | 第18-22页 |
| 2.2.4 噪声等效功率和探测率 | 第22-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 热释电红外探测器的电学性能分析 | 第25-34页 |
| 3.1 热释电集总参数模型 | 第25-28页 |
| 3.2 热探测器电学性能仿真结果 | 第28-33页 |
| 3.2.1 电压响应变化情况 | 第28-30页 |
| 3.2.2 噪声功率变化情况 | 第30-31页 |
| 3.2.3 探测率变化情况 | 第31-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 热释电探测器的热学性能及力学性能分析 | 第34-49页 |
| 4.1 模型建立 | 第34-36页 |
| 4.2 仿真结果与分析 | 第36-48页 |
| 4.2.1 双支撑腿型敏感元仿真结果 | 第36-38页 |
| 4.2.2 四支撑腿型敏感元仿真结果 | 第38-40页 |
| 4.2.3 五支撑腿型敏感元仿真结果 | 第40-42页 |
| 4.2.4 支撑腿的数量对探测器性能影响研究 | 第42页 |
| 4.2.5 敏感薄膜元厚度变化影响仿真研究 | 第42-45页 |
| 4.2.6 探测器支撑腿长度变化影响仿真研究 | 第45-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 钽酸锂晶体的减薄 | 第49-68页 |
| 5.1 钽酸锂简要介绍 | 第49-50页 |
| 5.2 实验方案设定 | 第50-52页 |
| 5.2.1 研磨的具体实验过程 | 第50-51页 |
| 5.2.2 抛光的具体实验过程 | 第51-52页 |
| 5.3 实验晶片测试和分析 | 第52-54页 |
| 5.4 实验过程的改良和测试分析 | 第54-61页 |
| 5.5 实验方案的进一步优化 | 第61-67页 |
| 5.5.1 晶片切片、清洗 | 第61-62页 |
| 5.5.2 粘片和厚度差检查 | 第62-64页 |
| 5.5.3 研磨 | 第64页 |
| 5.5.4 抛光 | 第64-65页 |
| 5.5.5 测试结果 | 第65-67页 |
| 5.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结和展望 | 第68-69页 |
| 6.1 结论 | 第68页 |
| 6.2 不足和展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
