| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第11-13页 |
| 1.2 OCD测量分析系统简介 | 第13-15页 |
| 1.3 课题内容简介 | 第15-16页 |
| 第二章 非线性优化分析算法 | 第16-25页 |
| 2.1 RCWA简介 | 第16页 |
| 2.2 常见的非线性优化算法 | 第16-24页 |
| 2.2.1 最小二乘法问题 | 第16-17页 |
| 2.2.2 最速下降法 | 第17-18页 |
| 2.2.3 牛顿法 | 第18-19页 |
| 2.2.4 高斯-牛顿法 | 第19-20页 |
| 2.2.5 Levenberg-Marquadt算法 | 第20-24页 |
| 2.2.5.1 置信区间以及阻尼方法 | 第20-22页 |
| 2.2.5.2 Levenberg-Marquadt算法基本原理 | 第22-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 OpenGL绘图原理及流程 | 第25-32页 |
| 3.1 OpenGL简介 | 第25页 |
| 3.2 OpenGL主要数据类型及函数 | 第25-28页 |
| 3.2.1 OpenGL的数据类型 | 第25-26页 |
| 3.2.2 OpenGL的函数 | 第26-28页 |
| 3.3 基于OpenGL的绘图实现 | 第28-31页 |
| 3.3.1 OpenGL的绘图流程 | 第28页 |
| 3.3.2 OpenGL的相机模拟显示机制 | 第28-29页 |
| 3.3.3 OpenGL中的坐标变换 | 第29-30页 |
| 3.3.4 OpenGL的几何变换 | 第30页 |
| 3.3.5 OpenGL的投影变换 | 第30-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 基于Levenberg-Marquardt算法的优化结果分析 | 第32-52页 |
| 4.1 均匀膜层结构 | 第32-35页 |
| 4.1.1 均匀膜层结构反射率的计算原理 | 第32-33页 |
| 4.1.2 均匀层结构厚度参数的优化实现 | 第33-35页 |
| 4.2 一维周期矩形光栅结构 | 第35-38页 |
| 4.2.1 一维周期矩形光栅反射率的计算原理 | 第35-37页 |
| 4.2.2 一维周期矩形光栅结构各参数的优化实现 | 第37-38页 |
| 4.3 二维周期光栅结构反射率基本原理 | 第38-45页 |
| 4.3.1 光栅结构分类 | 第40-41页 |
| 4.3.2 二维光栅结构各参数的优化实现 | 第41-45页 |
| 4.3.2.1 矩形光栅 | 第41-42页 |
| 4.3.2.2 圆形/椭圆光栅 | 第42-43页 |
| 4.3.2.3 十字结构 | 第43-44页 |
| 4.3.2.4 面心结构 | 第44-45页 |
| 4.4 LM算法的局部优化特性 | 第45-50页 |
| 4.4.1 单参数优化分析 | 第46-48页 |
| 4.4.2 多参数优化分析 | 第48-49页 |
| 4.4.3 使优化分析全局化的方法 | 第49-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 基于OpenGL实现光栅结构图像化显示 | 第52-65页 |
| 5.1 绘图基本设置 | 第52-53页 |
| 5.1.1 绘图平台设置 | 第52页 |
| 5.1.2 绘图基调设置 | 第52-53页 |
| 5.2 各结构图像化显示的实现 | 第53-63页 |
| 5.2.1 均匀膜层 | 第53-54页 |
| 5.2.2 一维周期矩形光栅 | 第54-57页 |
| 5.2.3 二维周期光栅结构 | 第57-63页 |
| 5.2.3.1 矩形结构 | 第57-59页 |
| 5.2.3.2 圆形结构 | 第59-60页 |
| 5.2.3.3 椭圆结构 | 第60-61页 |
| 5.2.3.4 十字结构 | 第61-62页 |
| 5.2.3.5 二维圆角结构 | 第62页 |
| 5.2.3.6 二维面心结构 | 第62-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 全文总结 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
