| 摘要 | 第7-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 精密驱动器的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 多自由度超精密平台的研究现状 | 第18-21页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第21-24页 |
| 第二章 隔振平台的静力学结构设计 | 第24-38页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 总体方案设计 | 第24-30页 |
| 2.2.1 超磁致伸缩驱动隔振平台的结构及工作原理 | 第24-26页 |
| 2.2.2 放大杠杆的原理设计 | 第26-27页 |
| 2.2.3 平台位移输出方式的原理设计 | 第27-28页 |
| 2.2.4 超磁致伸缩驱动器的结构设计 | 第28-30页 |
| 2.3 隔振平台详细设计 | 第30-37页 |
| 2.3.1 超磁致伸缩材料棒 | 第30-31页 |
| 2.3.2 电磁线圈 | 第31-32页 |
| 2.3.3 柔性铰链的设计 | 第32-35页 |
| 2.3.4 放大杠杆的初步设计 | 第35-36页 |
| 2.3.5 驱动器的详细设计和装配 | 第36-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 隔振平台的结构参数优化 | 第38-54页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 全系统的能量流分析 | 第38-39页 |
| 3.3 电磁耦合损耗能量 | 第39-43页 |
| 3.3.1 磁路漏磁的损耗能量 | 第39-43页 |
| 3.3.2 线圈产热的能量损耗 | 第43页 |
| 3.4 磁机耦合损耗的计算 | 第43-45页 |
| 3.5 机械输出损耗的计算 | 第45-47页 |
| 3.6 设计变量、目标函数以及约束函数 | 第47-51页 |
| 3.6.1 驱动磁能计算 | 第47-49页 |
| 3.6.2 目标函数和约束条件的建立 | 第49-51页 |
| 3.7 优化求解 | 第51-53页 |
| 3.7.1 遗传算法介绍 | 第51-52页 |
| 3.7.2 优化计算及结果分析 | 第52-53页 |
| 3.8 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 隔振平台的动力学建模及仿真 | 第54-78页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 单个驱动器的动力学模型的建立 | 第54-60页 |
| 4.2.1 放大杠杆系统动力学模型的建立 | 第54-58页 |
| 4.2.2 磁致伸缩棒动力学建模 | 第58-59页 |
| 4.2.3 单个驱动器和放大杠杆的动力学建模 | 第59-60页 |
| 4.3 隔振平台整体的动力学建模 | 第60-62页 |
| 4.3.1 负载圆盘的动力学模型 | 第60-61页 |
| 4.3.2 平台沿 Z 轴运动的动力学模型 | 第61-62页 |
| 4.3.3 平台绕 X、Y 轴转动的动力学模型 | 第62页 |
| 4.4 模型仿真 | 第62-73页 |
| 4.4.1 参数确定 | 第62-63页 |
| 4.4.2 单个驱动器动力学响应 | 第63-67页 |
| 4.4.3 平台整体动力学分析 | 第67-73页 |
| 4.5 隔振平台的有限元分析 | 第73-77页 |
| 4.6 本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 隔振平台的样机实验 | 第78-96页 |
| 5.1 引言 | 第78页 |
| 5.2 仪器设备简介 | 第78-81页 |
| 5.3 单个驱动器性能调试及测试 | 第81-89页 |
| 5.3.1 碟形弹簧刚度的实验确定 | 第81-85页 |
| 5.3.2 实验原理及平台搭建 | 第85-89页 |
| 5.4 隔振平台整体实验 | 第89-94页 |
| 5.5 本章小结 | 第94-96页 |
| 第六章 全文总结 | 第96-100页 |
| 6.1 结论 | 第96-97页 |
| 6.2 本文创新点 | 第97页 |
| 6.3 改进的建议 | 第97-100页 |
| 参考文献 | 第100-106页 |
| 致谢 | 第106-108页 |
| 攻读学位期间的学术成果 | 第108-110页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第110页 |