| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 多晶硅的性质及用途 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外多晶硅的生产方法 | 第11-17页 |
| 1.2.1 硅烷法制备多晶硅 | 第12页 |
| 1.2.2 流化床法制备多晶硅 | 第12-13页 |
| 1.2.3 西门子法生产多晶硅 | 第13-15页 |
| 1.2.4 多晶硅生产方法的比较 | 第15-17页 |
| 1.3 多晶硅生产技术的改进 | 第17-19页 |
| 1.4 流程模拟软件的介绍及选用 | 第19-21页 |
| 1.4.1 Aspen Plus | 第19-20页 |
| 1.4.2 HYSYS | 第20页 |
| 1.4.3 PRO/Ⅱ | 第20页 |
| 1.4.4 ChemCAD | 第20-21页 |
| 1.4.5 模拟软件选用 | 第21页 |
| 1.5 本文研究课题的主要内容 | 第21-22页 |
| 第2章 吸收分离流程及流程模拟 | 第22-31页 |
| 2.1 尾气干法回收工艺流程的描述 | 第23-25页 |
| 2.2 原始流程的主要设备的模型化 | 第25-28页 |
| 2.3 原始流程的模拟结果 | 第28-29页 |
| 2.4 小结 | 第29-31页 |
| 第3章 主要参数的灵敏度分析 | 第31-48页 |
| 3.1 流程主要影响因素 | 第31页 |
| 3.2 吸收-解吸分离流程主要设备操作条件初步优化 | 第31-37页 |
| 3.2.1 吸收塔 | 第31-34页 |
| 3.2.2 解吸塔 | 第34-36页 |
| 3.2.3 吸收塔、解吸塔的操作条件 | 第36-37页 |
| 3.3 各因素对体系能耗的影响 | 第37-47页 |
| 3.3.1 吸收剂进入吸收塔的温度对系统能耗的影响 | 第37-38页 |
| 3.3.2 未被冷凝的还原尾气混合气进入吸收塔的温度变化对系统能耗的影响 | 第38-40页 |
| 3.3.3 吸收剂质量流率（气液比）对系统能耗的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.4 吸收富液进入解吸塔的温度对系统能耗的影响 | 第41-43页 |
| 3.3.5 吸收塔压力变化对系统能耗的影响 | 第43-45页 |
| 3.3.6 解吸塔压力变化对系统能耗的影响 | 第45-46页 |
| 3.3.7 流程吸收解吸条件优选 | 第46-47页 |
| 3.4 小结 | 第47-48页 |
| 第4章 尾气回收系统流程改进及优化模拟 | 第48-58页 |
| 4.1 中间换热器工艺 | 第48-50页 |
| 4.1.1 中间换热器工艺节能原理 | 第48页 |
| 4.1.2 判断是否可以添加中间换热器 | 第48-49页 |
| 4.1.3 根据进料参数来判断中间换热器的效果 | 第49-50页 |
| 4.2 分股进料工艺节能原理 | 第50-54页 |
| 4.2.1 预冷进料物流 | 第50-51页 |
| 4.2.2 预热进料物流 | 第51-53页 |
| 4.2.3 新工艺的提出 | 第53-54页 |
| 4.3 模拟结果 | 第54-57页 |
| 4.3.1 物流组成情况 | 第54-56页 |
| 4.3.2 解吸塔温度分布情况 | 第56页 |
| 4.3.3 冷热负荷情况 | 第56-57页 |
| 4.4 小结 | 第57-58页 |
| 全文总结 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附录 A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
