改良西门子法还原过程辐射换热数值模拟研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 概述 | 第10页 |
| 1.2 多晶硅及其产业需求 | 第10-13页 |
| 1.3 世界多晶硅产业发展状况 | 第13-17页 |
| 1.4 多晶硅生产的主要工艺技术 | 第17-23页 |
| 1.5 数值模拟技术在多晶硅生产研究中的应用 | 第23-25页 |
| 1.6 课题的研究目的、研究内容及创新性 | 第25-28页 |
| 第二章 数值模拟条件及方法 | 第28-42页 |
| 2.1 还原炉结构及工作原理 | 第28-30页 |
| 2.2 实际生产条件的简化 | 第30页 |
| 2.3 流体控制方程及数学模型 | 第30-34页 |
| 2.4 还原炉数值模拟参数 | 第34-36页 |
| 2.5 数值模拟方法 | 第36-40页 |
| 2.6 本章小结 | 第40-42页 |
| 第三章 辐射换热理论及模型 | 第42-48页 |
| 3.1 基本假设 | 第42页 |
| 3.2 辐射理论 | 第42-46页 |
| 3.3 固体材料性质 | 第46-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 数值模拟结果及分析 | 第48-68页 |
| 4.1 不同炉型流场分析 | 第48-52页 |
| 4.2 不同炉型温度场分析 | 第52-56页 |
| 4.3 12对棒还原炉辐射换热分析 | 第56-60页 |
| 4.4 不同炉型还原炉辐射换热分析 | 第60-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 第五章 能耗分析与计算 | 第68-77页 |
| 5.1 化学反应热理论计算 | 第68-69页 |
| 5.2 硅沉积速率对能耗的影响 | 第69-70页 |
| 5.3 不同炉型还原炉能耗分析 | 第70-76页 |
| 5.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 结论与展望 | 第77-80页 |
| 6.1 结论 | 第77-78页 |
| 6.2 展望 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-88页 |
| 附录A 硕士期间发表的论文 | 第88页 |
