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基于硫化钼薄膜的柔性可转移阻变存储器工作机理探究

中文摘要第4-5页
英文摘要第5-6页
第一章 绪论第9-23页
    1.1 存储器简介第9-10页
    1.2 下一代非易失性存储器第10-12页
        1.2.1 磁阻随机存储器第10-11页
        1.2.2 铁电随机存储器第11页
        1.2.3 相变存储器第11-12页
        1.2.4 阻变随机存储器第12页
    1.3 阻变式随机存储器(RRAM)要述第12-17页
        1.3.1 RRAM的阻变行为模式与基本参数第13-14页
        1.3.2 RRAM的材料体系第14-15页
        1.3.3 RRAM的物理机制第15-17页
    1.4 二硫化钼存储器简介第17-21页
        1.4.1 二硫化钼的材料特性第17-18页
        1.4.2 二硫化钼RRAM的发展现状第18-21页
    1.5 本论文的选题依据与研究意义第21-23页
第二章 二硫化钼阻变存储器的构筑及机制探究第23-44页
    2.1 引言第23-25页
    2.2 Ag/MoS_2/Au器件的制备方法第25-28页
        2.2.1 Au底电极的制备第26-27页
        2.2.2 真空抽滤法制备MoS2薄膜第27-28页
        2.2.3 蒸镀Ag顶电极第28页
    2.3 MoS_2薄膜的表征第28-32页
        2.3.1 X射线衍射表征第28-29页
        2.3.2 拉曼光谱表征第29-30页
        2.3.3 原子力显微镜表征第30-31页
        2.3.4 透射电子显微镜表征第31-32页
    2.4 Ag/MoS_2/Au器件的阻变行为及多级存储应用第32-37页
        2.4.1 单双极性阻变行为共存并可互转的基本现象第32-33页
        2.4.2 基于一种正偏压的读取方式实现的多级存储第33-35页
        2.4.3 基于一种非破坏式的读取方式实现的多级存储第35-37页
    2.5 Ag/MoS_2/Au器件的阻变机理探究第37-43页
        2.5.1 关于高低阻的I-V曲线拟合探究第37-38页
        2.5.2 关于低阻值的温度依赖性探究第38页
        2.5.3 关于拉曼光谱的特征峰探究第38-40页
        2.5.4 两种阻变模式下的激活能计算第40-41页
        2.5.5 电阻转变机制模型模拟第41-42页
        2.5.6 两种电阻转变模式下的参数对比第42-43页
    2.6 本章小结第43-44页
第三章 Ag/MoS_2/Au柔性可转移电子器件的构建及性能研究第44-53页
    3.1 引言第44-45页
    3.2 Ag/MoS_2/Au存储器件的构造及其表征第45-48页
        3.2.1 介质层材料的选择第45-46页
        3.2.2 制备方法第46-47页
        3.2.3 MoS_2薄膜的表征第47-48页
    3.3 对Ag/MoS_2/Au柔性可转移器件的性能研究第48-52页
        3.3.1 I-V阻变行为及保持特性第48-49页
        3.3.2 电阻转变速度第49-51页
        3.3.3 柔性器件的弯折性能第51页
        3.3.4 柔性可转移器件的阻变性能第51-52页
    3.4 本章小结第52-53页
第四章 总结第53-54页
参考文献第54-62页
致谢第62-63页
在学期间公开发表论文及著作情况第63页

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