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新结构GaN基p-i-n型紫外探测器及其光电特性研究

作者简介第2-4页
摘要第4-6页
ABSTRACT第6-8页
目录第9-12页
第一章 绪论第12-24页
    1.1 GaN基材料概述第12-19页
        1.1.1 GaN基材料的基本特性第12-15页
        1.1.2 GaN基材料的生长方法及缺陷密度第15-17页
        1.1.3 GaN基材料的欧姆接触第17-19页
    1.2 GaN基紫外探测器的研究现状第19-21页
    1.3 本论文的研究意义第21-22页
    1.4 本论文的主要工作和创新第22-24页
        1.4.1 本论文的主要工作第22-23页
        1.4.2 本论文的主要创新点第23-24页
第二章 能带图和载流子分布的计算模型与计算方法第24-46页
    2.1 GaN同质结能带图和载流子的数值计算第24-29页
        2.1.1 能带计算模型第24-27页
        2.1.2 泊松方程的数值计算第27页
        2.1.3 计算结果第27-29页
    2.2 AlGaN/GaN异质结能带图和载流子分布的数值计算第29-38页
        2.2.1 AlGaN/GaN异质结构中的极化效应第29-31页
        2.2.2 薛定谔-泊松方程自洽求解第31-34页
        2.2.3 数值计算方法第34-38页
    2.3 极化效应对异质结的影响第38-44页
        2.3.1 极化效应对AlGaN/GaN的影响第38-41页
        2.3.2 极化效应对GaN/AlGaN/GaN的影响第41-44页
        2.3.3 极化效应对AlGaN/GaN/AlGaN的影响第44页
    2.4 本章小结第44-46页
第三章 光照对GaN p-i-n型紫外探测器的影响第46-82页
    3.1 GaN p-i-n型紫外探测器的静态特性第46-53页
        3.1.1 p-i-n型探测器的性能参数第47-48页
        3.1.2 迁移率模型第48-51页
        3.1.3 光吸收系数模型第51-53页
    3.2 GaN p-i-n型紫外探测器的光生屏蔽效应模型第53-70页
        3.2.1 光生屏蔽效应数值模型第53-57页
        3.2.2 光生载流子分布和光生屏蔽电场第57-61页
        3.2.3 光生屏蔽效应对器件响应时间的影响第61-63页
        3.2.4 耗尽区厚度对光生屏蔽效应的影响第63-64页
        3.2.5 载流子寿命对光生屏蔽效应的影响第64-66页
        3.2.6 光照强度对光生屏蔽效应的影响第66-68页
        3.2.7 外加偏压对光生屏蔽效应的影响第68-70页
    3.3 GaN p-i-n型紫外探测器的光生寄生电容模型第70-76页
        3.3.1 光生寄生电容数值模型第70-72页
        3.3.2 光照强度对光生寄生电容的影响第72-74页
        3.3.3 载流子寿命对光生寄生电容的影响第74-75页
        3.3.4 外加偏压对光生寄生电容的影响第75-76页
    3.4 光照特性的实验测试第76-80页
        3.4.1 光生屏蔽效应的实验测试第76-77页
        3.4.2 光生寄生电容的实验测试第77-80页
    3.5 本章小结第80-82页
第四章 AlGaN/GaN异质结p-i-n型紫外探测器第82-102页
    4.1 AlGaN/GaN异质结p-i-n型探测器的结构与模型第82-85页
        4.1.1 AlGaN/GaN异质结p-i-n型紫外探测器的结构第82-83页
        4.1.2 AlGaN/GaN异质界面的极化驰豫第83-84页
        4.1.3 AlGaN/GaN异质结p-i-n型紫外探测器的光子吸收第84-85页
    4.2 AlGaN/GaN异质结p-i-n型探测器的光电响应特性第85-95页
        4.2.1 外加偏压对探测器光电响应的影响第86-90页
        4.2.2 p-AlGaN层掺杂浓度对探测器光电响应的影响第90-93页
        4.2.3 AlGaN/GaN异质结压电驰豫对器件光电响应的影响第93-95页
    4.3 AlGaN/GaN异质结p-i-n型紫外探测器响应波段的可调性第95-97页
    4.4 AlGaN/GaN异质结p-i-n型探测器的光生屏蔽特性第97-101页
    4.5 本章小结第101-102页
第五章 AlGaN/AlGaN/GaN双异质结p-p-i-n型紫外探测器第102-118页
    5.1 双异质结p-p-i-n型紫外探测器的结构与模型第102-104页
    5.2 双异质结p-p-i-n型紫外探测器的光电响应特性第104-111页
        5.2.1 外加偏压对双异质结p-p-i-n型探测器光电响应的影响第104-107页
        5.2.2 AlGaN层掺杂浓度对双异质结p-p-i-n型探测器光电响应的影响第107-111页
    5.3 双异质结p-p-i-n型紫外探测器响应波段的可调性第111-113页
    5.4 双异质结p-p-i-n型紫外探测器的光生屏蔽特性第113-116页
    5.5 本章小结第116-118页
第六章 结束语第118-122页
    6.1 结论第118-120页
    6.2 展望第120-122页
致谢第122-124页
参考文献第124-136页
作者攻读博士期间的研究成果和参加的科研项目第136-137页
    发表论文第136-137页
    发明专利第137页
    参加科研项目第137页

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