| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 等离子体基本概要 | 第10-13页 |
| 1.2 容性耦合等离子体的基本理论 | 第13-15页 |
| 1.3 等离子体与固体材料表面的作用 | 第15-17页 |
| 1.4 等离子体发射光谱诊断 | 第17-19页 |
| 1.5 本文研究的内容 | 第19-20页 |
| 第二章 实验装置和诊断装备图 | 第20-26页 |
| 2.1 射频容性耦合等离子体的放电 | 第20-21页 |
| 2.2 发射光谱诊断 | 第21-24页 |
| 2.3 光刻胶刻蚀速率的测量 | 第24-25页 |
| 2.4 数据的处理 | 第25-26页 |
| 第三章 氩气容性耦合等离子体的光强研究 | 第26-41页 |
| 3.1 功率对氩气容性耦合等离子体放电影响 | 第26-31页 |
| 3.2 压强对氩气容性耦合等离子体放电影响 | 第31-35页 |
| 3.3 极板配置对氩气容性耦合等离子体放电光强的影响 | 第35-39页 |
| 3.4 本章小节 | 第39-41页 |
| 第四章 氧气容性耦合等离子体的光强研究 | 第41-54页 |
| 4.1 功率对氧气容性耦合等离子体放电影响 | 第41-45页 |
| 4.2 压强对氧气容性耦合等离子体放电影响 | 第45-50页 |
| 4.3 极板配置对氧气容性耦合等离子体放电光强的影响 | 第50-53页 |
| 4.4 本章小节 | 第53-54页 |
| 第五章 氩气氧气混合气体容性耦合等离子体的光强研究 | 第54-58页 |
| 5.1 氧气含量对氩气氧气混合气体放电光强的影响 | 第54-55页 |
| 5.2 氧气含量对氩气氧气混合气体放电光刻胶的刻蚀速率影响 | 第55-56页 |
| 5.3 压强对氩气氧气混合气体放电光强的影响 | 第56-57页 |
| 5.4 本章小节 | 第57-58页 |
| 第六章 总结 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 硕士期间发表论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
