| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 研究背景以及选题意义 | 第12-16页 |
| 1.2 GHZ段软磁薄膜材料进展 | 第16-22页 |
| 1.2.1 纳米合金软磁薄膜 | 第16-17页 |
| 1.2.2 纳米软磁颗粒膜 | 第17-19页 |
| 1.2.3 多层膜 | 第19-20页 |
| 1.2.4 图形化高频软磁薄膜 | 第20页 |
| 1.2.5 高频软磁薄膜的温度特性 | 第20-22页 |
| 1.3 片上集成电感研究进展 | 第22-24页 |
| 1.4 薄膜抗EMI噪声抑制器研究进展 | 第24-25页 |
| 1.5 研究内容 | 第25-26页 |
| 第二章 高频磁性薄膜基本理论 | 第26-41页 |
| 2.1 磁化强度进动方程 | 第27-28页 |
| 2.2 高频极限理论 | 第28-29页 |
| 2.3 高频磁导率 | 第29-31页 |
| 2.4 软磁薄膜的损耗机制 | 第31-35页 |
| 2.4.1 自然共振损耗 | 第31-32页 |
| 2.4.2 磁滞损耗 | 第32页 |
| 2.4.3 涡流损耗 | 第32-33页 |
| 2.4.4 磁后效损耗 | 第33-34页 |
| 2.4.5 尺寸共振与磁力共振 | 第34页 |
| 2.4.6 畴壁共振 | 第34-35页 |
| 2.5 高频磁导率测量 | 第35-40页 |
| 2.5.1 传播系数法测量薄膜复磁导率 | 第35-39页 |
| 2.5.2 等效磁通法测量薄膜复磁导率 | 第39-40页 |
| 2.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 GHz波段软磁颗粒膜的性能调控 | 第41-62页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 高频磁性薄膜的制备与性能表征 | 第41-42页 |
| 3.3 FeCoTiO纳米颗粒膜的性能调控 | 第42-60页 |
| 3.3.1 厚度对FeCoTiO纳米颗粒膜的性能影响 | 第42-45页 |
| 3.3.2 功率对FeCoTiO纳米颗粒膜的性能影响 | 第45-48页 |
| 3.3.3 FeCo含量对FeCoTiO纳米颗粒膜的性能影响 | 第48-52页 |
| 3.3.4 倾斜溅射调控FeCoTiO纳米颗粒膜的性能 | 第52-59页 |
| 3.3.5 FeCo TiO纳米颗粒膜温度稳定性研究 | 第59-60页 |
| 3.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 薄膜抗EMI噪声抑制器 | 第62-80页 |
| 4.1 引言 | 第62页 |
| 4.2 薄膜抗电磁噪声抑制理论及模型 | 第62-66页 |
| 4.2.1 薄膜抗电磁噪声抑制理论 | 第62-63页 |
| 4.2.2 薄膜抗EMI噪声抑制器模型仿真 | 第63-66页 |
| 4.2.2.1 磁性能对吸收特性的影响 | 第64-65页 |
| 4.2.2.2 磁性层厚度对吸收特性的影响 | 第65-66页 |
| 4.2.2.3 介质层层厚度对吸收特性的影响 | 第66页 |
| 4.3 基于抗EMI噪声抑制器的薄膜研究 | 第66-76页 |
| 4.3.1 双峰现象 | 第67-74页 |
| 4.3.2 不同厚度多层膜 | 第74-76页 |
| 4.4 抗EMI噪声抑制器加工及测试 | 第76-78页 |
| 4.5 结果分析 | 第78-79页 |
| 4.6 本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 片上集成电感 | 第80-111页 |
| 5.1 引言 | 第80页 |
| 5.2 片上集成电感仿真 | 第80-84页 |
| 5.2.1 倾斜缠绕型螺线管电感结构设计 | 第80-81页 |
| 5.2.2 磁芯厚度对电感性能的影响 | 第81-82页 |
| 5.2.3 匝数对电感性能的影响 | 第82页 |
| 5.2.4 线间距对电感性能的影响 | 第82-83页 |
| 5.2.5 线圈厚度对电感性能的影响 | 第83-84页 |
| 5.3 基于片上集成电感的磁芯薄膜研究 | 第84-91页 |
| 5.3.1 磁芯薄膜的小尺寸化 | 第84-86页 |
| 5.3.2 形状各向异性与诱导各向异性的竞争 | 第86-89页 |
| 5.3.3 三明治型多层膜 | 第89-91页 |
| 5.4 片上集成电感的制备工艺 | 第91-97页 |
| 5.4.1 关键工艺研究 | 第91-95页 |
| 5.4.1.1 深硅刻蚀 | 第91-92页 |
| 5.4.1.2 铜电镀 | 第92-93页 |
| 5.4.1.3 聚酰亚胺的固化和刻蚀 | 第93-95页 |
| 5.4.2 倾斜缠绕型螺线管电感工艺流程 | 第95-97页 |
| 5.5 片上集成电感的测试 | 第97-99页 |
| 5.5.1 SOLT校准 | 第97-98页 |
| 5.5.2 原位去嵌入 | 第98页 |
| 5.5.3 电感参数提取 | 第98-99页 |
| 5.6 测试结果分析及讨论 | 第99-109页 |
| 5.6.1 不同磁芯厚度 | 第99-101页 |
| 5.6.2 不同匝数 | 第101-103页 |
| 5.6.3 饱和电流测试 | 第103-106页 |
| 5.6.4 两种不同互感 | 第106-109页 |
| 5.7 本章小结 | 第109-111页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第111-115页 |
| 6.1 全文总结 | 第111-113页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-127页 |
| 附录 二端口网络参量转换公式 | 第127-128页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第128-129页 |
