| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-23页 |
| 1.1 论文选题背景 | 第7-8页 |
| 1.1.1 集成电路发展与应用 | 第7页 |
| 1.1.2 集成电路的制造工艺 | 第7-8页 |
| 1.2 化学机械抛光技术 | 第8-13页 |
| 1.2.1 发展历程 | 第8-9页 |
| 1.2.2 工作原理及特点 | 第9-11页 |
| 1.2.3 理论模型 | 第11-13页 |
| 1.3 抛光垫及其研究现状 | 第13-21页 |
| 1.3.1 作用、材料和结构 | 第13-18页 |
| 1.3.2 材料力学特性 | 第18-19页 |
| 1.3.3 压缩刚度及接触行为 | 第19-21页 |
| 1.4 课题来源、研究目标与主要内容 | 第21-23页 |
| 2 多级结构抛光垫的压缩刚度 | 第23-35页 |
| 2.1 抛光垫压缩刚度的研究意义 | 第23页 |
| 2.2 多级结构抛光垫的压缩刚度模型 | 第23-28页 |
| 2.2.1 粗糙层刚度模型 | 第23-24页 |
| 2.2.2 单级沟槽抛光垫的基体层刚度模型 | 第24-26页 |
| 2.2.3 多级结构抛光垫基体层刚度计算模型 | 第26-27页 |
| 2.2.4 基体层刚度的有限元分析 | 第27-28页 |
| 2.3 压缩刚度测试 | 第28-33页 |
| 2.3.1 抛光垫力学性能测试 | 第28-32页 |
| 2.3.3 含两级沟槽抛光垫的刚度测量实验 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 3 抛光垫非线性接触行为研究 | 第35-48页 |
| 3.1 抛光垫微观接触行为的研究意义及现状 | 第35-36页 |
| 3.2 抛光垫微观接触行为测试 | 第36-41页 |
| 3.2.1 真实接触面积测试系统及原理 | 第36-37页 |
| 3.2.2 真实接触面积与载荷的关系 | 第37-40页 |
| 3.2.3 循环加载对真实接触面积的影响 | 第40-41页 |
| 3.3 抛光垫表面力学特性测试 | 第41-45页 |
| 3.3.1 循环加载前后抛光垫表面力学特性测试 | 第41页 |
| 3.3.2 抛光垫粘弹性测试 | 第41-45页 |
| 3.4 抛光垫真实接触面积预测模型 | 第45-47页 |
| 3.4.1 抛光垫真实接触面积预测模型 | 第45页 |
| 3.4.2 抛光垫真实接触面积随压缩量的变化关系测定 | 第45-46页 |
| 3.4.3 抛光垫真实接触面积预测模型的验证 | 第46-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 数字图像相干法测抛光垫变形 | 第48-57页 |
| 4.1 数字图像相干方法 | 第48-50页 |
| 4.1.1 数字图像相干法简介 | 第48-49页 |
| 4.1.2 数字图像相干方法的基本原理 | 第49-50页 |
| 4.2 数字图像相干方法测抛光垫变形 | 第50-56页 |
| 4.2.1 抛光垫变形分析的研究现状 | 第50页 |
| 4.2.2 抛光垫变形数字图像相干分析系统的精度验证 | 第50-53页 |
| 4.2.3 抛光垫变形数字图像相干分析 | 第53-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论与展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |