| 学位论文数据集 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第15-19页 |
| 1.1 纳米技术工艺发展 | 第15-17页 |
| 1.2 论文选题的目的和意义 | 第17页 |
| 1.2.1 本文的研究目的 | 第17页 |
| 1.2.2 本文的创新点 | 第17页 |
| 1.3 本章小结 | 第17-19页 |
| 第二章 硅基片与薄膜的相互作用 | 第19-35页 |
| 2.1 简介 | 第19页 |
| 2.2 实验原料与仪器 | 第19-20页 |
| 2.2.1 实验原料 | 第19页 |
| 2.2.2 实验仪器 | 第19-20页 |
| 2.3 纳米硅衬底的制备 | 第20-21页 |
| 2.3.1 表面环岛状结构硅衬底 | 第20-21页 |
| 2.3.2 表面多孔状结构硅衬底 | 第21页 |
| 2.4 纳米硅衬底的表面结构 | 第21-26页 |
| 2.4.1 环岛状结构硅衬底的表面形貌 | 第21-23页 |
| 2.4.2 多孔状结构硅衬底的表面形貌 | 第23-26页 |
| 2.5 纳米金属薄膜的制备及表征 | 第26-33页 |
| 2.5.1 不同表面结构衬底与纳米金(Au)膜的相互作用 | 第27-31页 |
| 2.5.2 不同表面结构衬底与纳米铝(Al)膜的相互作用 | 第31-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 电子在薄膜中的传输特征 | 第35-43页 |
| 3.1 测试方法简述 | 第35页 |
| 3.2 金(Au)膜中电子的传输特征 | 第35-39页 |
| 3.2.1 环岛状结构纳米Au膜导电性测试 | 第35-37页 |
| 3.2.2 多孔结构衬底纳米Au膜导电性测试 | 第37-39页 |
| 3.3 铝(Al)膜导电子的传输特征 | 第39-42页 |
| 3.3.1 环岛状结构纳米Al膜导电性测试 | 第39-41页 |
| 3.3.2 多孔结构衬底纳米Al膜导电性测试 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 纳米Au膜电子输运理论模拟 | 第43-57页 |
| 4.1 纳米Au膜电子传输特征简述 | 第43页 |
| 4.2 电阻率与尺寸 | 第43-44页 |
| 4.2.1 准经典近似条件 | 第43页 |
| 4.2.2 金属薄膜电阻率 | 第43-44页 |
| 4.3 二维模型的模拟计算 | 第44-50页 |
| 4.3.1 多重N方势垒模型 | 第44-46页 |
| 4.3.2 Matlab软件程序 | 第46-48页 |
| 4.3.3 Matlab软件模拟结果及讨论 | 第48-50页 |
| 4.4 薄膜中电子的相互作用 | 第50-56页 |
| 4.4.1 库仑阻塞效应 | 第50-51页 |
| 4.4.2 量子岛模型 | 第51-52页 |
| 4.4.3 薄膜导电性理论计算 | 第52-55页 |
| 4.4.4 薄膜导电特性讨论分析 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 多层纳米Au/DPO薄膜荧光特性 | 第57-65页 |
| 5.1 纳米Au薄膜荧光特性简述 | 第57页 |
| 5.2 实验 | 第57-58页 |
| 5.3 纳米Au/DPO多层膜荧光性测试结果及分析 | 第58-63页 |
| 5.3.1 Au层与DPO层的相互作用 | 第58-59页 |
| 5.3.2 不同多层薄膜的紫外荧光测试 | 第59-62页 |
| 5.3.3 不同多层薄膜的表面表征 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第73-75页 |
| 导师简介 | 第75-77页 |
| 作者简介 | 第77-79页 |
| 附件 | 第79-80页 |
