| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| CONTENTS | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·本课题的来源与主要研究内容 | 第17-19页 |
| ·课题的来源 | 第17页 |
| ·课题研究内容和目的 | 第17-19页 |
| 第二章 频域三点法主轴回转误差分离技术 | 第19-28页 |
| ·主轴回转精度的定义及误差分离技术 | 第19-20页 |
| ·主轴回转精度的定义 | 第19-20页 |
| ·主轴回转误差分离技术 | 第20页 |
| ·频域三点法和近似三点法 | 第20-24页 |
| ·频域三点法圆度误差分离 | 第21-23页 |
| ·近似三点法 | 第23-24页 |
| ·主轴圆度误差及回转误差的评定方法 | 第24-27页 |
| ·主轴圆度误差的评定 | 第25-27页 |
| ·主轴回转误差的评定 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 测量系统的软件设计 | 第28-34页 |
| ·测量系统的模块化设计 | 第28-30页 |
| ·测量系统的功能模块 | 第28页 |
| ·程序的处理流程 | 第28-30页 |
| ·测量系统的软件设计平台 | 第30页 |
| ·系统开放性接口 | 第30-31页 |
| ·测量软件界面及特点 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 频域三点法误差分析 | 第34-56页 |
| ·数据采集及去噪 | 第34-41页 |
| ·集合平均 | 第35-37页 |
| ·数字滤波 | 第37-40页 |
| ·减直流分量 | 第40-41页 |
| ·频域三点法分离误差的理论分析 | 第41-43页 |
| ·频域三点法的谐波抑制及自动消偏 | 第41-42页 |
| ·频域三点法的灵敏度分析 | 第42-43页 |
| ·频域三点法分离精度影响因素的仿真分析 | 第43-55页 |
| ·三点法的频域分析 | 第43-50页 |
| ·定位误差及标准球精度量级对频域三点法分离精度的影响 | 第50-52页 |
| ·频域三点法与近似三点法的对比分析 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 测量系统的硬件设计及实验研究 | 第56-71页 |
| ·测量系统的基本组成 | 第56页 |
| ·精密滚珠螺母机床主轴回转精度测量系统 | 第56-63页 |
| ·测量装置设计 | 第57-59页 |
| ·数据采集板 | 第59-60页 |
| ·精密电容位移传感器 | 第60-63页 |
| ·空气静压轴承主轴回转精度测量系统 | 第63-69页 |
| ·高速空气静压轴承主轴 | 第64-65页 |
| ·LMS数据采集装置 | 第65页 |
| ·电涡流微位移传感器 | 第65-66页 |
| ·增量式编码器 | 第66页 |
| ·实验结果 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |