| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 课题背景与意义 | 第15-16页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第16-23页 |
| 1.2.1 气体润滑技术的发展 | 第16页 |
| 1.2.2 普通环境下静压气体轴承流场及其影响分析 | 第16-18页 |
| 1.2.3 真空环境下静压气体轴承流场及其影响分析 | 第18页 |
| 1.2.4 气体轴承的数值计算方法 | 第18-19页 |
| 1.2.5 气体轴承的实验方法 | 第19-21页 |
| 1.2.6 气体稀薄效应及其对气体润滑的影响 | 第21页 |
| 1.2.7 本文主要研究内容与章节安排 | 第21-23页 |
| 2 真空环境下静压气体轴承流场的数学模型分析 | 第23-35页 |
| 2.1 气体流域分区 | 第23-24页 |
| 2.2 真空气体轴承的结构模型 | 第24-25页 |
| 2.3 真空气体轴承流场和性能分析 | 第25-32页 |
| 2.3.1 入口区域 | 第25页 |
| 2.3.2 承载区域 | 第25-31页 |
| 2.3.3 密封区域 | 第31-32页 |
| 2.4 预测性分析 | 第32-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 基于COMSOL的轴承气体流场仿真 | 第35-50页 |
| 3.1 仿真软件介绍 | 第35页 |
| 3.2 仿真建模 | 第35-49页 |
| 3.2.1 入口区模拟 | 第36-37页 |
| 3.2.2 承载区模拟 | 第37-41页 |
| 3.2.3 密封区模拟 | 第41-48页 |
| 3.2.4 真空室模拟 | 第48-49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 真空环境气体轴承实验 | 第50-59页 |
| 4.1 检测装置组成 | 第50-52页 |
| 4.2 供排气系统 | 第52页 |
| 4.3 实验对象 | 第52-53页 |
| 4.4 实验方法 | 第53-54页 |
| 4.5 实验结果 | 第54-58页 |
| 4.6 实验误差分析 | 第58页 |
| 4.7 本章小结 | 第58-59页 |
| 5 真空环境气体轴承的优化 | 第59-69页 |
| 5.1 真空轴承性能计算方法优化 | 第59-62页 |
| 5.2 真空轴承密封优化 | 第62-68页 |
| 5.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 6 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 总结 | 第69-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 作者简历 | 第75页 |