| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第17-39页 |
| 1.1 引言 | 第17页 |
| 1.2 轴承失效分析 | 第17-20页 |
| 1.3 航空轴承材料的发展 | 第20-23页 |
| 1.3.1 特殊规格 | 第20页 |
| 1.3.2 次级硬质合金钢 | 第20-21页 |
| 1.3.3 增韧合金 | 第21-23页 |
| 1.3.4 二次硬化处理 | 第23页 |
| 1.4 镀膜技术在轴承上的应用 | 第23-28页 |
| 1.5 PVD涂层制备工艺 | 第28-31页 |
| 1.6 碳基硬质减摩薄膜 | 第31-37页 |
| 1.6.1 碳基薄膜分类 | 第31-33页 |
| 1.6.2 薄膜韧性 | 第33页 |
| 1.6.3 元素掺杂碳基薄膜 | 第33-34页 |
| 1.6.4 多层结构碳基薄膜 | 第34-37页 |
| 1.7 本文的研究内容 | 第37-39页 |
| 第二章 低温制备复合功能薄膜设备的研制 | 第39-70页 |
| 2.1 引言 | 第39页 |
| 2.2 低温复合薄膜沉积设备组成 | 第39-40页 |
| 2.3 真空系统 | 第40-50页 |
| 2.3.1 真空室的设计 | 第42-46页 |
| 2.3.2 真空获得系统 | 第46-48页 |
| 2.3.3 加热系统及真空温度控制系统 | 第48-49页 |
| 2.3.4 真空测量系统 | 第49-50页 |
| 2.4 控制系统 | 第50-51页 |
| 2.5 工件架及偏压系统 | 第51-53页 |
| 2.6 旋转阴极磁控靶 | 第53-54页 |
| 2.7 工装设计 | 第54-63页 |
| 2.7.1 内外圈的工装设计 | 第54-56页 |
| 2.7.2 滚动体(球)的工装设计 | 第56-57页 |
| 2.7.3 滚动体(球)工装的验证 | 第57-63页 |
| 2.8 阳极层离子源的设计 | 第63-69页 |
| 2.8.1 离子源磁场设计 | 第63-64页 |
| 2.8.2 离子源外形尺寸设计 | 第64-66页 |
| 2.8.3 离子源性能验证 | 第66-69页 |
| 2.9 本章小结 | 第69-70页 |
| 第三章 薄膜结构设计与性能表征 | 第70-79页 |
| 3.1 引言 | 第70页 |
| 3.2 W掺杂DLC薄膜 | 第70-71页 |
| 3.3 梯度多层结构薄膜 | 第71-73页 |
| 3.4 沉积薄膜对基体系统接触应力场的影响 | 第73-75页 |
| 3.5 薄膜表征及性能测试 | 第75-78页 |
| 3.5.1 薄膜厚度 | 第75-76页 |
| 3.5.2 膜/基结合力 | 第76-77页 |
| 3.5.3 原子力显微镜(AFM) | 第77页 |
| 3.5.4 扫描电子显微镜(SEM)与能谱分析(EDS) | 第77页 |
| 3.5.5 纳米压痕测量 | 第77页 |
| 3.5.6 拉曼光谱分析 | 第77-78页 |
| 3.5.7 摩擦磨损试验机 | 第78页 |
| 3.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 第四章 低温制备梯度复合功能薄膜工艺优化 | 第79-125页 |
| 4.1 引言 | 第79页 |
| 4.2 低温前处理工艺研究 | 第79-84页 |
| 4.2.1 实验部分 | 第79-81页 |
| 4.2.2 结果与分析 | 第81-84页 |
| 4.2.3 小结 | 第84页 |
| 4.3 不同W掺杂量对薄膜结构和性能的影响 | 第84-97页 |
| 4.3.1 薄膜制备 | 第85页 |
| 4.3.2 不同W含量DLC薄膜的性能 | 第85-90页 |
| 4.3.3 添加异物对W-DLC薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第90-97页 |
| 4.4 不同工艺参数对TiN薄膜结构和性能的影响 | 第97-116页 |
| 4.4.1 靶电流对薄膜结构和性能的影响 | 第97-104页 |
| 4.4.2 脉冲偏压对薄膜结构和性能的影响 | 第104-110页 |
| 4.4.3 沉积温度对薄膜结构和性能的影响 | 第110-116页 |
| 4.4.4 小结 | 第116页 |
| 4.5 不同的基体粗糙度对薄膜摩擦学性能的影响 | 第116-123页 |
| 4.5.1 实验部分 | 第116-118页 |
| 4.5.2 结果与分析 | 第118-123页 |
| 4.5.3 小结 | 第123页 |
| 4.6 本章小结 | 第123-125页 |
| 第五章 轴承表面梯度复合功能薄膜的制备与验证 | 第125-141页 |
| 5.1 典型工况 | 第125页 |
| 5.2 轴承表面薄膜的制备 | 第125-127页 |
| 5.2.1 入场检查 | 第126页 |
| 5.2.2 清洗 | 第126-127页 |
| 5.2.3 装卡及镀膜 | 第127页 |
| 5.3 镀膜轴承及薄膜性能 | 第127-131页 |
| 5.3.1 镀膜轴承 | 第127-128页 |
| 5.3.2 薄膜性能 | 第128-131页 |
| 5.4 台架试验及结果 | 第131-139页 |
| 5.4.1 试验件 | 第131页 |
| 5.4.2 试验设备 | 第131-132页 |
| 5.4.3 试验过程与结果分析 | 第132-139页 |
| 5.5 本章小结 | 第139-141页 |
| 第六章 结论 | 第141-143页 |
| 6.1 本文的主要研究内容与结论 | 第141-142页 |
| 6.2 本文的主要创新点 | 第142页 |
| 6.3 对今后工作的展望 | 第142-143页 |
| 参考文献 | 第143-153页 |
| 致谢 | 第153-154页 |
| 个人简介 | 第154页 |