EDS分析的若干影响因素研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10页 |
| 1.2 SEM和EDS的特点及应用 | 第10-12页 |
| 1.3 K-S检验介绍 | 第12-13页 |
| 1.4 正交试验设计与多因素方差分析简介 | 第13页 |
| 1.5 影响EDS分析的因素研究 | 第13-15页 |
| 1.6 本论文的工作 | 第15-16页 |
| 第二章 微观分析技术 | 第16-23页 |
| 2.1 SEM介绍 | 第16-18页 |
| 2.1.1 SEM结构与原理 | 第16-17页 |
| 2.1.2 SEM操作注意事项以及钨灯丝的维护 | 第17-18页 |
| 2.2 EDS介绍 | 第18-22页 |
| 2.2.1 EDS结构及工作原理 | 第18-20页 |
| 2.2.2 EDS分析方法 | 第20-22页 |
| 2.2.3 EDS的保养和维护 | 第22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 工作参数的影响与研究 | 第23-48页 |
| 3.1 SEM和EDS参数的研究 | 第23-34页 |
| 3.1.1 加速电压的影响 | 第23-26页 |
| 3.1.2 工作距离的影响 | 第26-27页 |
| 3.1.3 束斑对计数率与死时间的影响 | 第27-29页 |
| 3.1.4 分析区域大小的影响 | 第29-31页 |
| 3.1.5 峰识别的影响 | 第31-34页 |
| 3.1.6 峰漂移的影响 | 第34页 |
| 3.2 工作参数的选择 | 第34-47页 |
| 3.2.1 正交试验设计 | 第34-36页 |
| 3.2.2 最佳工作参数的选择 | 第36-47页 |
| 3.3 小结 | 第47-48页 |
| 第四章 试样物理性质研究 | 第48-61页 |
| 4.1 试样的基本条件 | 第48-49页 |
| 4.2 试样成分的均匀性确定 | 第49-51页 |
| 4.3 试样表面污染对成分结果的影响 | 第51-53页 |
| 4.4 试样尺寸以及表面与样品台距离的研究 | 第53-55页 |
| 4.5 试样倾斜角对定量分析的影响 | 第55-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 试样表面起伏对定量分析的影响 | 第61-75页 |
| 5.1 试样表面粗糙度对定量分析的影响 | 第61-64页 |
| 5.2 带腔体试样对定量分析的影响 | 第64-74页 |
| 5.2.1 束斑的影响实验 | 第65-66页 |
| 5.2.2 工作距离的影响实验 | 第66-67页 |
| 5.2.3 腔体模拟实验 | 第67-74页 |
| 5.3 本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 结论 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第80-81页 |
| 附录 | 第81-88页 |
