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基于离子交换的玻璃基多模干涉型功分器研制

致谢第1-6页
摘要第6-7页
Abstract第7-8页
目录第8-10页
1 绪论第10-23页
   ·研究背景第10-14页
     ·光通信发展现状第10-12页
     ·单模光纤和多模光纤第12-14页
   ·国内外研究现状及发展动态分析第14-17页
     ·光网络用光无源器件的特点和类型第14-15页
     ·玻璃基离子交换的发展第15-16页
     ·多模干涉器件的发展第16-17页
   ·项目的研究内容和目标第17-18页
     ·项目的研究内容第17-18页
     ·研究目标第18页
   ·本项目的创新点与全文框架第18-21页
     ·创新点第18-19页
     ·全文框架第19-21页
 参考文献第21-23页
2 玻璃基离子交换第23-42页
   ·离子交换技术的优势第23-24页
   ·离子交换技术基本原理第24-30页
     ·玻璃的结构第24-25页
     ·迁移机理第25-30页
     ·折射率变化第30页
   ·离子交换技术的特点与分类第30-34页
     ·按交换离子分类第30-32页
     ·干法交换和湿法交换第32-33页
     ·一次热交换、两次热交换、电场辅助离子交换第33-34页
   ·Ag+-Na+电场辅助离子交换流程第34-38页
     ·基片的清洗第35页
     ·铝膜的淀积第35页
     ·光刻第35-36页
     ·腐蚀和去胶第36-37页
     ·热扩散离子交换第37页
     ·电场辅助掩埋工艺第37页
     ·研磨与抛光第37-38页
   ·Ag~+-Na~+电场辅助离子交换的几个关键问题第38-40页
     ·玻璃基材料第38页
     ·掩埋深度对掩膜宽度的依赖第38页
     ·一次交换掩膜问题第38-40页
 参考文献第40-42页
3 多模干涉器件第42-52页
   ·多模干涉原理第42-46页
     ·经典原理第42-43页
     ·导模传输分析法第43-46页
     ·多模干涉在渐变折射率中的特性第46页
   ·器件应用第46-50页
     ·1×N和N×N多模干涉耦合器第47页
     ·MMI型2波长波分复用器第47-48页
     ·MMI-MZI光开关第48页
     ·阵列波长复用器第48-50页
 参考文献第50-52页
4 1×2和1×4功分器的设计和制作第52-66页
   ·功分器的结构第52-56页
     ·旁接波导结构第52-53页
     ·Taper结构第53-55页
     ·Slot结构第55页
     ·Y分叉的改进第55-56页
   ·1×2功分器结构的仿真第56-59页
     ·MMI型1×2功分器设计第56-58页
     ·Y分叉型1×2功分器设计第58-59页
   ·1×4功分器的设计第59-60页
     ·MMI型1×4功分器设计第59页
     ·Y分叉型1×4功分器设计第59-60页
   ·版图设计第60-64页
     ·1×2版图第60-62页
     ·1×4功分器版图第62-64页
 参考文献第64-66页
5 功分器的测试结果和分析第66-76页
   ·工艺参数的确定第66-69页
   ·器件实验结果第69-72页
   ·结果分析第72-75页
 参考文献第75-76页
6 论文总结和展望第76-78页
   ·论文总结第76页
   ·论文展望第76-78页
作者简历第78页

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