| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题的来源 | 第10页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外的研究现状及分析 | 第11-13页 |
| ·工作台结构与驱动方式的研究 | 第12-13页 |
| ·定位控制策略及算法的研究 | 第13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·宏驱定位系统的控制器设计 | 第13-14页 |
| ·微驱定位系统的磁滞建模及补偿 | 第14-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-18页 |
| 第2章 微驱平台非线性测试及磁滞建模 | 第18-29页 |
| ·试验平台的介绍 | 第18-19页 |
| ·压电陶瓷驱动微工作台非线性测试试验 | 第19-22页 |
| ·微驱定位平台磁滞测试试验 | 第20-21页 |
| ·微驱定位平台蠕变特性测试试验 | 第21-22页 |
| ·微驱定位平台磁滞非线性建模 | 第22-28页 |
| ·Preisach模型 | 第22-24页 |
| ·Krasnosel’skii-Pokrovkii（KP）模型 | 第24-25页 |
| ·Prandtl-Ishlinskii（P-I)模型 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章P-I磁滞模型参数求解与优化 | 第29-48页 |
| ·粒子群（PSO）算法 | 第29-34页 |
| ·标准PSO算法 | 第30-32页 |
| ·改进的PSO算法 | 第32-34页 |
| ·PSOs算法的测试与比较 | 第34-36页 |
| ·测试函数及改进PSO算法的参数选取 | 第34-35页 |
| ·仿真结果及分析 | 第35-36页 |
| ·基于混沌映射的PSO算法 | 第36-41页 |
| ·混沌现象 | 第36-38页 |
| ·混沌映射的PSO算法 | 第38-39页 |
| ·混沌映射的PSO算法的测试与结果分析 | 第39-41页 |
| ·混沌映射PSO算法的PID控制器自适应最优化研究 | 第41-44页 |
| ·模型与目标函数的选择 | 第42-43页 |
| ·实验结果及分析 | 第43-44页 |
| ·混沌映射MPSO算法的P-I模型权重参数最优化 | 第44-47页 |
| ·Prandtl-Ishlinskii模型的磁滞算子的选择 | 第44-45页 |
| ·混沌映射MPSO算法的Prandtl-Ishlinskii模型的实验验证 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 微驱定位平台的磁滞补偿控制 | 第48-58页 |
| ·Prandtl-Ishlinskii磁滞模型的前馈逆补偿控制 | 第48-51页 |
| ·Prandtl-Ishlinskii磁滞逆模型 | 第49-50页 |
| ·Prandtl-Ishlinskii模型前馈逆补偿试验 | 第50-51页 |
| ·闭环磁滞补偿控制 | 第51-56页 |
| ·闭环PID控制及实验结果 | 第51-54页 |
| ·线性反馈（P-I)控制及实验结果 | 第54-56页 |
| ·微驱定位平台的线性模型的建立 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 宏微双驱系统的切换控制研究 | 第58-68页 |
| ·宏驱平台的控制器设计与实现 | 第58-60页 |
| ·宏驱平台的PID参数设计实验 | 第58-59页 |
| ·宏驱平台PID+前馈控制实验 | 第59-60页 |
| ·宏微双驱定位平台的切换控制研究与实现 | 第60-67页 |
| ·静态切换控制模式 | 第61页 |
| ·动态切换控制模式 | 第61-62页 |
| ·逆补偿切换控制模式 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
