| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·气体传感器的定义及分类 | 第12-13页 |
| ·金属氧化物气体传感器类型 | 第13-24页 |
| ·SnO_2气体传感器 | 第14-15页 |
| ·ZnO气体传感器 | 第15-16页 |
| ·In_2O_3气体传感器 | 第16-24页 |
| ·金属氧化物气体传感器的性能指标 | 第24-25页 |
| ·灵敏度 | 第24页 |
| ·响应/恢复时间 | 第24-25页 |
| ·选择性 | 第25页 |
| ·检测下限 | 第25页 |
| ·稳定性 | 第25页 |
| ·金属氧化物气体传感器的敏感机理 | 第25-28页 |
| ·金属氧化物气体传感器的改进方法 | 第28页 |
| ·本论文的研究意义及内容 | 第28-31页 |
| ·研究意义 | 第28-29页 |
| ·研究内容 | 第29-31页 |
| 第二章 Pd掺杂花状In_2O_3微结构的制备及表征 | 第31-43页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·实验试剂及仪器 | 第31-32页 |
| ·花状In_2O_3微结构的制备 | 第32-35页 |
| ·水热法制备花状In_2O_3微结构 | 第32-34页 |
| ·水热法制备Pd掺杂花状In_2O_3微结构 | 第34-35页 |
| ·气敏测试元件的制作 | 第35-37页 |
| ·气敏测试平台的搭建 | 第37-41页 |
| ·气敏测试仪器简介 | 第37-38页 |
| ·目标气体的配制 | 第38-40页 |
| ·气敏性能测试原理 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 Pd掺杂花状In_2O_3微结构对NO_2气敏特性研究 | 第43-55页 |
| ·引言 | 第43-44页 |
| ·Pd掺杂花状In_2O_3微结构的表征 | 第44-48页 |
| ·组分与形貌分析 | 第44-48页 |
| ·N_2吸附-脱附分析 | 第48页 |
| ·Pd掺杂花状In_2O_3微结构的气敏特性研究 | 第48-53页 |
| ·温度-灵敏度特性 | 第48-49页 |
| ·动态响应特性 | 第49-50页 |
| ·浓度-灵敏度特性 | 第50-51页 |
| ·瞬态响应特性 | 第51-52页 |
| ·选择特性 | 第52页 |
| ·重复和稳定特性 | 第52-53页 |
| ·Pd掺杂花状In_2O_3微结构对NO_2的气敏机理 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 Pd掺杂花状In_2O_3微结构对H_2气敏特性研究 | 第55-65页 |
| ·引言 | 第55-56页 |
| ·Pd掺杂花状In_2O_3微结构的气敏特性研究 | 第56-61页 |
| ·温度-灵敏度特性 | 第56-57页 |
| ·掺杂浓度-灵敏度特性 | 第57页 |
| ·动态响应特性 | 第57-58页 |
| ·浓度-灵敏度特性 | 第58-59页 |
| ·瞬态响应特性 | 第59-61页 |
| ·Pd掺杂花状In_2O_3微结构对H_2的气敏机理 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-69页 |
| ·工作总结 | 第65-66页 |
| ·工作展望 | 第66-69页 |
| 参考文献 | 第69-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 硕士期间主要发表论文 | 第79页 |
