| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题背景与研究意义 | 第9-10页 |
| ·气敏传感器概述 | 第10-12页 |
| ·气敏传感器的应用 | 第10页 |
| ·气敏传感器的分类 | 第10-12页 |
| ·电阻式金属氧化物半导体气敏传感器 | 第12-15页 |
| ·电阻式半导体气敏传感器的工作原理 | 第12-13页 |
| ·电阻式半导体气敏传感器的主要性能参数 | 第13-14页 |
| ·电阻式半导体气敏传感器的发展趋势 | 第14-15页 |
| ·SnO_2气敏传感器 | 第15-17页 |
| ·SnO_2气敏传感器的研究现状 | 第15-16页 |
| ·SnO_2纳米结构薄膜型气敏传感器的发展趋势 | 第16-17页 |
| ·本论文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 SnO_2气敏传感器的制备与表征 | 第19-32页 |
| ·薄膜的制备 | 第19-22页 |
| ·叉指电极的制备 | 第19-21页 |
| ·SnO_2纳米颗粒薄膜的制备 | 第21-22页 |
| ·薄膜器件的表征 | 第22-24页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第22页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第22页 |
| ·X射线衍射仪（XRD） | 第22-23页 |
| ·气敏测试系统 | 第23-24页 |
| ·工艺参数对传感性能的影响 | 第24-28页 |
| ·功率对薄膜及传感特性的影响 | 第24-26页 |
| ·氧分压对薄膜及传感特性的影响 | 第26-28页 |
| ·SnO_2酒精传感器的远距离检测 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 绒面衬底SnO_2气敏传感器的制备与性能研究 | 第32-44页 |
| ·绒面玻璃衬底的制备与形貌分析 | 第32-34页 |
| ·绒面玻璃衬底的制备 | 第32-33页 |
| ·绒面玻璃衬底的形貌分析 | 第33-34页 |
| ·绒面硅片衬底的制备与形貌分析 | 第34-38页 |
| ·绒面硅片衬底的制备 | 第34-35页 |
| ·绒面硅片衬底的形貌分析 | 第35-38页 |
| ·绒面硅片衬底对传感特性的影响 | 第38-43页 |
| ·响应值的研究 | 第38-39页 |
| ·响应/恢复时间的研究 | 第39-40页 |
| ·选择性的研究 | 第40-41页 |
| ·稳定性的研究 | 第41页 |
| ·传感机制分析 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 退火温度与掺杂对SnO_2气敏传感器的影响 | 第44-52页 |
| ·退火温度对气敏传感器的影响 | 第44-46页 |
| ·退火温度对薄膜表面形貌的影响 | 第44-45页 |
| ·退火温度对气敏特性的影响 | 第45-46页 |
| ·掺杂对气敏传感器的影响 | 第46-51页 |
| ·掺杂对薄膜表面形貌的影响 | 第46-48页 |
| ·掺杂对气敏特性的影响 | 第48-50页 |
| ·传感机理研究 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 工作总结与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |