纳米时栅传感器电场仿真与实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| ·本文的研究背景、来源和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·电容式位移传感器 | 第11-12页 |
| ·压阻式传感器 | 第12页 |
| ·光栅 | 第12-13页 |
| ·激光干涉仪 | 第13-14页 |
| ·总结 | 第14页 |
| ·本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 2 纳米时栅传感器原理 | 第16-26页 |
| ·时空转换原理 | 第16-17页 |
| ·时栅原理 | 第17-19页 |
| ·单齿式时栅原理 | 第17页 |
| ·磁场式时栅原理 | 第17-19页 |
| ·纳米时栅测量原理 | 第19-24页 |
| ·传感器测量原理 | 第19-20页 |
| ·传感器结构 | 第20-23页 |
| ·纳米时栅行波形成理论推导 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 3 电场仿真与分析 | 第26-44页 |
| ·概述 | 第26页 |
| ·ANSYS 软件 | 第26-27页 |
| ·电场的有限元法分析原理 | 第27-29页 |
| ·泊松方程和拉普拉斯方程 | 第27-28页 |
| ·静电场边界条件 | 第28页 |
| ·电场有限元计算 | 第28-29页 |
| ·传感器定尺仿真与分析 | 第29-31页 |
| ·不同情况时传感器电场仿真与分析 | 第31-42页 |
| ·不同参数时传感器仿真模型建立 | 第32-33页 |
| ·定尺二维电场分布分析 | 第33-34页 |
| ·不同间隔时电场仿真分析 | 第34-35页 |
| ·不同间距时电场仿真分析 | 第35-36页 |
| ·不同激励电压时电场仿真分析 | 第36页 |
| ·激励相间电场仿真分析 | 第36-38页 |
| ·双介质时电场仿真分析 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 4 实验研究 | 第44-64页 |
| ·实验平台 | 第44-50页 |
| ·实验平台设计 | 第44-45页 |
| ·实验环境 | 第45页 |
| ·AEROTECH 精密直线工作平台 | 第45-47页 |
| ·LABVIEW 激励信号系统 | 第47-48页 |
| ·信号处理系统 | 第48页 |
| ·上位机 | 第48-49页 |
| ·搭建的实验平台 | 第49-50页 |
| ·误差特性研究 | 第50-55页 |
| ·不同间隔 d 时误差特性 | 第50-51页 |
| ·不同间距δ时误差特性 | 第51-52页 |
| ·不同激励电压幅值时误差特性 | 第52-53页 |
| ·两激励相间的影响 | 第53-54页 |
| ·双介质时误差特性 | 第54-55页 |
| ·本节小结 | 第55页 |
| ·传感器相关实验研究 | 第55-62页 |
| ·稳定性实验 | 第55-60页 |
| ·传感器大量程原始误差测量 | 第60-61页 |
| ·基材和极片制作效果研究 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 5 传感器结构与参数优化 | 第64-72页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·一次误差控制相关优化设计 | 第64-69页 |
| ·屏蔽法 | 第65-66页 |
| ·补偿法 | 第66-67页 |
| ·隔离屏蔽法 | 第67-69页 |
| ·四次误差的消除 | 第69页 |
| ·传感器误差标定 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 6 总结和展望 | 第72-74页 |
| ·总结 | 第72-73页 |
| ·展望 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第78-79页 |
