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表面粗化提高红光LED的发光效率研究

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第一章 绪论第9-21页
   ·本文的研究背景第9-10页
   ·照明技术的变迁第10页
   ·LED 的工作原理、优点及应用第10-13页
     ·LED 的工作原理第10-12页
     ·LED 的优点第12页
     ·LED 的应用第12-13页
   ·提高 LED 发光效率的方法第13-20页
     ·LED 的发光效率第13页
     ·影响 LED 发光效率提高的因素第13-14页
     ·LED 出光效率存在的困难第14页
     ·提高 LED 发光效率的方法第14-20页
   ·本文主要内容第20-21页
第二章 表面粗化技术第21-30页
   ·粗糙化技术第21-25页
     ·表面粗糙度第21-24页
     ·LEDS 表面粗化原理第24-25页
   ·刻蚀原理第25-27页
     ·湿法蚀刻原理第25-26页
     ·ICP 干法刻蚀原理第26-27页
   ·表面形貌观察方法第27-29页
     ·扫描式电子显微镜(SEM)第27-28页
     ·原子力显微镜(AFM)第28-29页
   ·本章小结第29-30页
第三章 Gap 基 LED 湿法粗化工艺研究第30-44页
   ·实验内容第30页
   ·实验准备第30-32页
   ·实验具体步骤第32页
   ·熔融态 KOH 粗化工艺的实验结果与讨论第32-41页
   ·KOH-乙二醇粗化工艺的实验结果与讨论第41-43页
   ·本章小结第43-44页
第四章 Gap 基 LED 干法粗化工艺研究第44-49页
   ·实验内容第44页
   ·ICP 实验步骤与工艺流程第44-46页
   ·实验结果与讨论第46-49页
第五章 结论与展望第49-51页
   ·全文总结第49页
   ·工作展望第49-51页
参考文献第51-54页
发表论文和科研情况说明第54-55页
致谢第55-56页

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