| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目次 | 第9-11页 |
| 图清单 | 第11-13页 |
| 表清单 | 第13-14页 |
| 1 引言 | 第14-22页 |
| ·微机械加速度计的概述 | 第14-16页 |
| ·谐振式微机械加速度计的研究现状 | 第16-21页 |
| ·体微机械加工工艺制作的谐振式加速度计 | 第16-18页 |
| ·表面微机械加工工艺制作的谐振式加速度计 | 第18-19页 |
| ·混合微机械加工工艺制作的谐振式加速度计 | 第19-21页 |
| ·本课题研究的内容 | 第21-22页 |
| 2 多晶硅电阻电热激励/压阻检测微谐振式加速度计工作原理 | 第22-41页 |
| ·多晶硅电阻电热激励/压阻检测微谐振式加速度计的基本结构 | 第22页 |
| ·谐振梁的激励和检测原理 | 第22-26页 |
| ·谐振梁的电热激励原理 | 第23-24页 |
| ·谐振器的压阻检测原理 | 第24-25页 |
| ·电阻材料的选取及制作工艺 | 第25-26页 |
| ·多晶硅电阻电热激励/压阻检测微谐振式加速度计理论分析 | 第26-33页 |
| ·谐振梁的静力学分析 | 第26-27页 |
| ·谐振梁的动力学分析 | 第27-31页 |
| ·谐振梁-支撑梁-质量块系统的谐振频率计算 | 第31页 |
| ·谐振梁的结构参数仿真 | 第31-33页 |
| ·谐振梁静态激励功率和检测电桥焦耳热对谐振频率的影响 | 第33-40页 |
| ·激励电阻静态激励功率对谐振频率的影响 | 第33-38页 |
| ·谐振梁的检测电桥焦耳热对谐振频率的影响 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 多晶硅电阻电热激励/压阻检测微谐振式加速度计工艺研究 | 第41-57页 |
| ·微谐振式加速度计的制作工艺流程 | 第41-44页 |
| ·谐振梁应力补偿技术 | 第44-46页 |
| ·二氧化硅和氮化硅薄膜制备 | 第44页 |
| ·二氧化硅和氮化硅薄膜性能测试 | 第44-45页 |
| ·谐振梁应力补偿方案 | 第45-46页 |
| ·质量块在 KOH 溶液腐蚀中的凸角保护技术 | 第46-50页 |
| ·KOH 溶液腐蚀过程中的铝线保护技术 | 第50-51页 |
| ·ICP 刻蚀研究 | 第51-54页 |
| ·硅刻蚀工艺 | 第52-53页 |
| ·二氧化硅刻蚀工艺 | 第53-54页 |
| ·氮化硅刻蚀工艺 | 第54页 |
| ·谐振梁的释放工艺 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 4 多晶硅电阻电热激励/压阻检测微谐振式加速度计性能测试 | 第57-63页 |
| ·多晶硅电阻温度系数测试 | 第57页 |
| ·谐振梁的谐振频率测试 | 第57-59页 |
| ·加速度计自由落体实验 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 5 总结和展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 作者简介及攻读硕士学位期间获得的学术成果 | 第69-70页 |
