一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究
| 中文摘要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-22页 |
| §1．1 引言 | 第7-9页 |
| §1．2 光开关种类 | 第9-12页 |
| §1．3 微机械光开关 | 第12-18页 |
| 1．3．1 MEMS技术简介 | 第12-14页 |
| 1．3．2 MEMS光开关分类 | 第14-17页 |
| 1．3．3 光纤开关阵列的最新进展 | 第17-18页 |
| §1．4 微机械式光开关的选择 | 第18-20页 |
| §1．5 本论文研究意义及内容 | 第20-21页 |
| 参考文献 | 第21-22页 |
| 第二章 微机械光开关的结构原理及设计 | 第22-33页 |
| §2．1 悬臂梁的简谐振动分析 | 第22-24页 |
| §2．2 微机械器件静电驱动分析 | 第24-27页 |
| §2．3 梁加质量块静电驱动行为研究 | 第27-29页 |
| §2．4 静电驱动光开关结构设计 | 第29-32页 |
| §2．5 小结 | 第32页 |
| 参考文献 | 第32-33页 |
| 第三章 微机械光开关的工艺制作 | 第33-60页 |
| §3．1 微机械加工工艺 | 第33-40页 |
| §3．2 微镜的腐蚀制作 | 第40-45页 |
| §3．3 光开关工艺流程 | 第45-50页 |
| §3．4 工艺监控方法 | 第50-53页 |
| §3．5 制作过程的问题及工艺改进 | 第53-57页 |
| §3．6 小结 | 第57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 第四章 光纤与光波导端面耦合研究 | 第60-69页 |
| §4．1 光纤与波导端面耦合损耗分析 | 第60-63页 |
| §4．2 光纤与光波导端面耦合的方法 | 第63-67页 |
| §4．3 小结 | 第67-69页 |
| 第五章 微机械光开关的光路耦合初步实现 | 第69-80页 |
| §5．1 光纤对接耦合 | 第69-73页 |
| §5．2 微镜厚度与光路、光纤的关系 | 第73-75页 |
| §5．3 本光开关耦合试验 | 第75-77页 |
| §5．4 光开关封装的发展 | 第77-78页 |
| §5．5 小结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-80页 |
| 总结 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
